[发明专利]用于测试电子器件的探针卡组件有效
申请号: | 201480038556.8 | 申请日: | 2014-05-05 |
公开(公告)号: | CN105531593B | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 范立;达西·凯利-格林;爱德华·米洛维克;穆卡什·塞尔瓦拉;吉姆·张;长井源作 | 申请(专利权)人: | 佛姆法克特股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R31/28 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 脱颖 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 测试 电子器件 探针 组件 | ||
1.一种接触探针,包括:
单体结构元件,所述单体结构元件包括挠曲部分和柔性连接部分;
在所述挠曲部分的近端处的接触尖端,所述接触尖端设置成接触设置在所述接触尖端的平面内的第一电子器件;以及
在所述柔性连接部分的远端处的连接尖端,所述连接尖端设置成接触探针卡组件的接线结构,所述接线结构设置在与所述接触尖端的所述平面基本平行的所述连接尖端的平面内;
所述挠曲部分和所述柔性连接部分是从所述接触尖端到所述连接尖端的导电路径的一些部分。
2.如权利要求1所述的接触探针,其中,所述柔性连接部分被设计成在大电流或热应力下失效。
3.如权利要求1所述的接触探针,其中:
所述柔性连接部分包括散热特征;
所述挠曲部分设置成与所述接触尖端的所述平面相距第一距离;
所述散热特征设置成与所述接触尖端的所述平面相距第二距离;
所述第二距离是所述第一距离的至少两倍。
4.如权利要求3所述的接触探针,其中所述散热特征包括互相隔开的柔性元件。
5.如权利要求1所述的接触探针,其中所述接触探针的尺寸被设计为可使所述接触探针配合到导向板中的探针导向件中,所述探针导向件包括:
附接特征,
从所述导向板的第一侧至所述附接特征的第一开口,
从所述导向板的第二侧至所述附接特征的第二开口,所述导向板的所述第二侧与所述导向板的所述第一侧相反,以及
从所述导向板的所述第一侧到所述第二侧的通道,所述通道邻近所述附接特征。
6.如权利要求5所述的接触探针,其中所述单体结构元件进一步包括附接部分,所述附接部分配置成配合在所述探针导向件的所述第一开口内,并将所述接触探针夹紧在所述探针导向件中的所述附接特征上,由此将所述接触探针附接到所述导向板。
7.如权利要求5所述的接触探针,其中所述单体结构元件进一步包括对准部分,所述对准部分配置成配合到所述探针导向件的所述第二开口中,其中所述对准部分包括对准特征,所述对准特征被定位成接触所述附接特征的对应限制件,并且由此相对于所述导向板在预定位置处停止由所述第一电子器件在所述接触尖端上的接触力产生的所述接触探针在所述探针导向件中的运动。
8.如权利要求1所述的接触探针,其中:
响应于所述第一电子器件在所述接触尖端上的接触力,所述挠曲部分在第一方向上屈服,
所述柔性连接部分在第二方向上屈服,并且
所述第一方向与所述第二方向基本垂直。
9.如权利要求3所述的接触探针,其中所述散热特征包括所述柔性连接部分的迂回区域。
10.如权利要求1所述的接触探针,其中:
所述单体结构元件进一步包括主体部分,并且
所述挠曲部分包括从所述主体部分横向延伸的悬臂梁,所述悬臂梁基本平行于所述接触尖端的所述平面。
11.如权利要求10所述的接触探针,其中:
所述单体结构元件进一步包括对准部分和附接部分,
所述对准部分在所述悬臂梁上方从所述主体部分横向延伸,并且在所述对准部分和所述悬臂梁之间存在第一间隙,并且
所述附接部分在所述对准部分上方从所述主体部分横向延伸,并且在所述附接部分和所述对准部分之间存在第二间隙。
12.如权利要求11所述的接触探针,其中所述接触探针的尺寸被设计为可使所述接触探针以如下方式配合到导向板中的探针导向件中:
所述单体结构元件的所述主体部分设置在所述探针导向件的通道中,
所述附接部分将所述接触探针夹紧至所述探针导向件中的附接特征上,以及
所述附接特征设置在所述附接部分和所述对准部分之间的所述第二间隙中。
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