[发明专利]用于测试电子器件的探针卡组件

说明书

一种探针卡组件，可包括导向板，所述导向板包括用于将探针固定在预定位置的探针导向件。所述探针卡组件还可包括附接在导向板上的接线结构，使探针的连接尖端与接线结构上的触头相抵比并附接在其上。所述导向板在接线结构上的附接可使接线结构以大于导向板的比率膨胀或收缩。所述探针可包括柔性元件，所述柔性元件可远离接触尖端，可在大电流和热应力下失效。

背景技术

探针卡组件是可在控制电子器件测试的测试仪与电子器件之间提供接口的装置。本发明的实施例涉及这种探针卡组件的各种改进。

发明内容

在某些实施例中，接触探针可包括挠曲元件和柔性连接元件。所述挠曲元件可包括接触尖端，所述接触尖端设置成与设置在接触尖端的平面内的第一电子器件接触。所述柔性连接元件可包括连接尖端，所述连接尖端设置成与设置在连接尖端的平面内的第二电子器件接触。所述接触尖端与连接尖端之间可以有导电路径。

在某些实施例中，探针卡组件可包括接线结构和导向板。所述接线结构可包括其第一侧上的电触头。所述导向板可附接在接线结构上，并可包括从其第一侧到第二侧的探针导向件。接触探针可设置在探针导向件中。每个接触探针可包括从导向板第二侧延伸出的柔性连接元件，并且柔性连接元件可具有连接尖端，所述连接尖端与接线结构第一侧的上电触头之一接触(例如，附接在其上)。所述连接元件第一平面上可以是柔性的，所述第一平面与接线结构的第一侧基本平行。

附图说明

图1示出了根据本发明某些实施例的测试系统，所述测试系统包括具有用于保持探针的导向板的探针卡组件。

图2是根据本发明某些实施例的图1中的导向板中的探针导向件的一个示例。

图3示出了根据本发明某些实施例的可插入图2的探针导向件中的探针的一个示例。

图4示出了根据本发明某些实施例的设置在图2的探针导向件中，并附接在其上的图3的探针。

图5是根据本发明某些实施例的探针的另一个示例。

图6示出了根据本发明某些实施例的探针卡组件的一个示例配置，所述探针卡组件包括穿过接线结构的热路径。

图7示出了根据本发明某些实施例的探针卡组件的另一个示例。

图8A和8B示出了根据本发明某些实施例的探针卡组件的自测试配置的一个示例。

具体实施方式

本说明书描述了本发明的示例性实施例和应用。然而，本发明不限于这些示例性实施例和应用或者不限于示例性实施例和应用工作的方式，或者如本文所述。此外，附图可以示出简化图或局部视图，并且附图中的元件的尺寸可以放大或者说是不按比例绘制。此外，作为本文中使用术语“在...之上”、“附接至”、“连接至”、“耦接至”或类似词语，一个要素(例如，材料、层、基板等)可以在另一个要素“之上”、“附接至”、“连接至”或“耦接至”另一个要素，而不论一个要素是否直接在另一个要素之上、直接地附接至、连接至或耦接至另一个要素，或者在一个要素与另一个要素之间是否存在一个或多个居间要素。另外，假如存在，方向(例如，之上、之下、顶部、底部、侧、往上、往下、下方、上方、上、下、水平、垂直、“x”、“y”、“z”等是相对的并且通过示例方式单独提供并且为了便于说明和讨论而不是限制。此外，在引用要素列表(例如，要素a、b、c)时，这种引用旨在包括所列要素的任何一个本身、少于所有列出要素的任意组合和/或所有所列要素的组合。

如本文所用，“基本上”的意思是足以实现所意图的目的。术语“基本上”因此允许偏离绝对或完美状态、尺寸、测量值、结果等的微小、不重要的变化，例如，本领域技术人员可以预想到但不会明显影响整体性能的变化。当相对于数值或可以表示成数值的参数或特征使用时，“基本上”意味着在10％以内。术语“多个”(ones)意味着不止一个。术语“设置”在其含义中包含“定位”。