[发明专利]多晶硅锭铸造用铸模的脱模剂用氮化硅粉末及其制造和使用方法有效
| 申请号： | 201480038649.0 | 申请日： | 2014-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN105377756B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 山尾猛;本田道夫;治田慎辅;藤井孝行 | 申请（专利权）人： | 宇部兴产株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02;C01B21/068;B22C3/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 吴宗颐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 铸造 铸模 脱模剂 氮化 粉末 及其 制造 使用方法 | ||
1.多晶硅锭铸造用铸模的脱模剂用氮化硅粉末，其特征在于，
比表面积为5～40m2/g，
将在粒子表面层存在的氧的含有比例记为FSO质量％、在粒子内部存在的氧的含有比例记为FIO质量％、比表面积记为FS m2/g，在此情况下，FS/FSO为8～30，FS/FIO为22以上，
Fe(铁)的含量为10ppm以下，
采用激光衍射式粒度分布计的体积基准的粒度分布测定中的10体积％粒径D10与90体积％粒径D90的比率D10/D90为0.05～0.20。
2.权利要求1所述的多晶硅锭铸造用铸模的脱模剂用氮化硅粉末，其特征在于，FS/FSO为15～30，FS/FIO为30～60。
3.含有多晶硅锭铸造用铸模的脱模剂用氮化硅粉末的浆料，其特征在于，将氮化硅粉末与水混合而得到，所述氮化硅粉末的特征在于，
比表面积为5～40m2/g，
将在粒子表面层存在的氧的含有比例记为FSO质量％、在粒子内部存在的氧的含有比例记为FIO质量％、比表面积记为FS m2/g，在此情况下，FS/FSO为8～30，FS/FIO为22以上，
采用激光衍射式粒度分布计的体积基准的粒度分布测定中的10体积％粒径D10与90体积％粒径D90的比率D10/D90为0.05～0.20。
4.权利要求3所述的含有多晶硅锭铸造用铸模的脱模剂用氮化硅粉末的浆料，其特征在于，氮化硅粉末的Fe(铁)的含量为10ppm以下。
5.权利要求3所述的含有多晶硅锭铸造用铸模的脱模剂用氮化硅粉末的浆料，其特征在于，氮化硅粉末的FS/FSO为15～30，FS/FIO为30～60。
6.权利要求3～5任一项所述的含有多晶硅锭铸造用铸模的脱模剂用氮化硅粉末的浆料，其特征在于，不含粘合剂。
7.具有脱模层的多晶硅锭铸造用铸模的制造方法，其特征在于，包括：
将氮化硅粉末与水混合而形成浆料的浆料形成工序，
将该浆料涂布于铸模表面的浆料涂布工序，
将涂布于铸模表面的上述浆料干燥的浆料干燥工序，和
在含氧气氛下将表面涂布有该浆料的铸模加热的加热处理工序；
所述氮化硅粉末的特征在于，
比表面积为5～40m2/g，
将在粒子表面层存在的氧的含有比例记为FSO质量％、在粒子内部存在的氧的含有比例记为FIO质量％、比表面积记为FS m2/g，在此情况下，FS/FSO为8～30，FS/FIO为22以上，
采用激光衍射式粒度分布计的体积基准的粒度分布测定中的10体积％粒径D10与90体积％粒径D90的比率D10/D90为0.05～0.20。
8.权利要求7所述的具有脱模层的多晶硅锭铸造用铸模的制造方法，其特征在于，氮化硅粉末的Fe(铁)的含量为10ppm以下。
9.权利要求7所述的具有脱模层的多晶硅锭铸造用铸模的制造方法，其特征在于，氮化硅粉末的FS/FSO为15～30，FS/FIO为30～60。
10.权利要求7～9任一项所述的具有脱模层的多晶硅锭铸造用铸模的制造方法，其特征在于，上述浆料不含粘合剂。
11.权利要求7～9任一项所述的具有脱模层的多晶硅锭铸造用铸模的制造方法，其特征在于，在400～800℃范围的温度下进行上述加热处理。
12.权利要求10所述的具有脱模层的多晶硅锭铸造用铸模的制造方法，其特征在于，在400～800℃范围的温度下进行上述加热处理。
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