[发明专利]混合型透明电极的制造方法及混合型透明电极

说明书

技术领域

本发明涉及一种混合型透明电极的制造方法及混合型透明电极，更为详细地，涉及一种在金属微细电极图案上形成有导电层的混合型透明电极的制造方法。

背景技术

最近，随着电子产品的轻薄短小化的趋势，显示器及晶体管等的电子元件共同要求以高密度及高集成的形式制作，因此对于形成能够使用在电极或者布线(metallization)上的金属图案的技术备受关注。

特别在触摸面板中必需的透明电极的制作技术中，在基底上形成微细图案，并且填充导电金属油墨而形成的金属图案在电阻特性上非常有用。此外，还开发一种在基底膜上涂覆金属纳米线或者各种形式的金属结构，从而提高光学特性和电特性的金属基透明电极(TCF)。

但是，由这些材料形成的电极表面不适合以要求数十纳米级表面平整度的OLED为主的其他显示器的工艺中，并且因与在电极上形成的有机物质的功函数(Work function)的差异可能会提高能障(energy barrier)。

目前，在触摸面板及显示器用透明电极上商业使用以氧化铟锡(Indium Tin Oxide，ITO)为主的氧化物透明电极，但是储量有限，并且在氧化物的特性上缺乏柔软性，在电阻特性上没有金属优异，因此不适合作为大面积的柔性显示器来使用。

最近对大面积柔性显示器的需求增加的这个时候，迫切需要开发一种电阻特性优异、柔软、与有机物质的适应性出色的同时表面平整度优异的电极材料。

发明内容

技术问题

因此，本发明的目的是为了解决所述的以往问题而提出的，其目的在于提供一种混合型透明电极的制造方法，该方法将具有机械特性及电特性的导电金属油墨组合物和表面特性优异的氧化物电极混合而形成双层的混合型透明电极。

此外，其目的在于提供一种混合型透明电极的制造方法，该方法将金属络合物或者金属前体作为导电金属油墨组合物使用，从而制造能够降低电阻的同时能够保持优异的电特性的混合型透明电极。

此外，其目的在于提供一种混合型透明电极的制造方法，该方法去除在利用导电金属油墨组合物印刷微细电极图案时有可能在非微细电极图案区域的区域上产生的导电金属油墨组合物的残留物，从而制造能够形成通过以往的技术难以实现的低电阻的微细图案，并且透射率优异的混合型透明电极。

此外，其目的在于提供一种混合型透明电极的制造方法，该方法可通过调节导电层的厚度来改善机械特性，并且可通过最大限度地进行导电油墨组合物向金属电极图案内的填充，并在氧化物电极之间导入聚合物层，以提高表面特性和机械特性。

解决问题的方案

为了实现所述课题，本发明的混合型透明电极的一实施例的制造方法的特征在于，包括：油墨组合物的填充步骤，用于在具有槽的基底的所述槽中填充导电油墨组合物；残留油墨组合物的填充步骤，用于将在所述槽中填充所述导电金属油墨组合物时残留在所述基底表面上的残留导电金属油墨组合物填满到所述槽中来形成电极图案；及导电层的形成步骤，用于在所述电极图案上形成包含导电物质的导电层。

所述导电金属油墨组合物可包括金属络合物、金属前体、球形金属粒子、金属薄片、纳米粒子或者纳米线中的至少一种。

在所述油墨组合物的填充步骤中，优选通过喷墨法、平板丝网法、旋涂法、棒涂法、辊涂法、流涂法、刀片刮涂法、点胶法、凹版印刷法或者柔版印刷法来填充所述导电金属油墨组合物。

在所述残留油墨组合物的填充步骤中，可通过蚀刻液溶解在所述油墨组合物的填充步骤中在所述槽中填充所述导电油墨组合物时残留在所述表面上的所述残留导电金属油墨组合物，并在所述槽中填充已溶解的所述残留导电金属油墨组合物。

本发明的特征在于，所述蚀刻液通过涂覆在所述基底的表面来溶解所述残留导电金属油墨组合物。

所述蚀刻液可通过平板丝网法、旋涂法、辊涂法、流涂法、刀片刮涂法、凹版印刷法或者柔版印刷法来进行涂覆。

所述蚀刻液可包括氨基甲酸铵系、碳酸铵系、碳酸氢铵系、羧酸系、内酯系、内酰胺系、环状酸酐系、酸-碱盐复合物、酸-碱-醇系复合物或者巯基系化合物中的至少一种及氧化剂。

本发明的特征在于，将通过蚀刻液溶解的所述残留导电金属油墨组合物推入所述槽中来在所述槽中填充所述残留导电金属油墨组合物。

对于通过所述蚀刻液溶解的所述残留导电金属油墨组合物，优选利用刀片或者刷子推入所述槽中。

所述导电物质可为金属氧化物、CNT、石墨烯或者导电性高分子。

本发明的特征在于，所述导电层通过沉积或者印刷所述导电物质而形成。