[发明专利]用于溅射系统的玻璃托盘

权利要求书

1.一种用于将多个玻璃基片运输通过溅射设备的托盘，所述托盘包括：

框架，其包括孔口；以及

可调节网格阵列，其在所述孔口中，所述可调节网格阵列是可配置地来固持不同形状和/或大小的所述多个玻璃基片；其中所述托盘被配置来固持所述多个玻璃基片，每个通过至少两个边缘来固持，并且在运输通过所述溅射设备期间固持在基本上垂直的取向中。

2.如权利要求1所述的托盘，其中所述孔口沿着第一尺寸是在60英寸与130英寸之间，并且沿着第二尺寸是在72英寸与205英寸之间。

3.如权利要求1所述的托盘，其还包括所述多个玻璃基片，其中所述多个玻璃基片中的每个的工作表面被围绕其外围在2mm与15mm之间掩盖。

4.如权利要求1所述的托盘，其还包括导电部件，所述导电部件被配置来建立与所述多个玻璃基片中的每个的工作表面上的导电涂层的电通信。

5.如权利要求4所述的托盘，其中所述导电部件包括一个或多个弹簧，所述一个或多个弹簧是可调节网格阵列的部分。

6.如权利要求1所述的托盘，其中所述可调节网格阵列被配置来将其温度维持在所述多个玻璃基片在溅射期间的温度的±5℃内。

7.如权利要求1所述的托盘，其中所述托盘重量小于700kg。

8.如权利要求1所述的托盘，其中所述框架包括不锈钢。

9.如权利要求1所述的托盘，其还包括重叠部分，所述重叠部分被配置来防止在溅射期间所述多个玻璃基片的背面污染。

10.如权利要求1所述的托盘，其还包括沿着其顶部边缘以有助于与所述溅射设备中的滚筒对准的导板。

11.如权利要求1所述的托盘，其还包括沿着其底部边缘以有助于与所述溅射设备中的驱动系统对准的导杆。

12.如权利要求11所述的托盘，其中所述托盘被配置来悬挂于所述溅射设备中的所述驱动系统。

13.如权利要求11所述的托盘，其中所述托盘被配置成被通过磁悬浮驱动系统来进行运输。

14.如权利要求1所述的托盘，其中所述框架还包括U形通道。

15.如权利要求1所述的托盘，其还包括一个或多个护罩以在溅射期间覆盖所述托盘的部分。

16.如权利要求15所述的托盘，其中所述一个或多个护罩可翻转地附接到框架。

17.如权利要求15所述的托盘，其还包括适应在所述一个或多个护罩与框架之间的热膨胀上的差异的护罩保持特征。

18.如权利要求15所述的托盘，其还包括框架的被配置成与邻近的托盘重叠并保护多个玻璃基片的背面免受溅射沉积的边缘部分。

19.如权利要求1所述的托盘，其中所述可调节网格阵列包括垂直支撑杆和水平支撑杆的系统，其中所述垂直支撑杆被配置来都在所述多个玻璃基片的垂直边缘处将所述多个玻璃基片支撑，其中所述水平支撑杆被配置来在所述多个玻璃基片的水平边缘处将所述多个玻璃基片支撑，其中所述水平支撑杆的末端被可滑动地与所述垂直支撑杆接合。

20.如权利要求1所述的托盘，其中所述可调节网格阵列包括：

垂直支撑杆系统，其被配置来沿着所述多个玻璃基片的垂直边缘来支撑所述多个玻璃基片中的每个；以及

水平的夹子，其被配置来固持和掩盖邻接玻璃基片的边缘。