[发明专利]形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、形状测定程序、以及记录介质有效
申请号: | 201480040836.2 | 申请日: | 2014-07-17 |
公开(公告)号: | CN105452802B | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
发明(设计)人: | 中村裕 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本国东京都千*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 形状 测定 装置 构造 制造 系统 方法 程序 以及 记录 介质 | ||
1.一种形状测定装置,其对被测定物的形状进行测定,其特征在于其具有:
探针,包含:投影光学系统,向所述被测定物的表面投影线状图案,或至少在线状扫描范围内一边扫描点图案一边投影点图案;及摄像装置,对投影在所述被测定物上的图案像进行检测;
移动机构,以所述被测定物相对于所述探针以旋转轴为中心而旋转的方式使所述被测定物与所述探针相对地旋转,并且使所述探针与所述被测定物中的任一者至少在与所述相对地旋转的旋转方向交叉的方向上相对地移动;
控制部,以通过所述移动机构使所述被测定物以所述旋转轴为中心对所述探针相对地旋转,且一边于与所述旋转方向交叉的方向上使所述探针对所述被测定物相对地移动、一边使被投影至所述被测定物的图案像通过所述投影光学系统投影至不同的区域,使图案像通过所述摄像装置进行检测的方式进行控制;
初始测定范围设定部,对所述被测定物的初始测定范围进行设定;以及
实际测定范围设定部,基于利用所述初始测定范围设定部而设定的初始测定范围,对包含实际测定开始位置及实际测定结束位置的实际测定范围进行设定;而且
所述实际测定范围设定部以比所述初始测定范围更靠近所述旋转轴的方式设定所述实际测定开始位置或所述实际测定结束位置中距旋转轴中心较近的一方,
或者将所述实际测定开始位置或所述实际测定结束位置中位于径向外侧的一方设定在比所述初始测定范围更远离所述旋转轴的方向上;
所述控制部,从所述实际测定开始位置开始或所述实际测定结束位置为止中对所述移动机构的控制,是以一边使所述被测定物以所述旋转轴为中心对所述探针相对地旋转、一边于与所述旋转方向交叉的方向上使所述探针对所述被测定物相对地移动的方式进行。
2.根据权利要求1所述的形状测定装置,其特征在于,其中所述实际测定范围设定部根据相对于所述旋转轴的所述线状图案或所述线状扫描范围的所述旋转轴的附近区域与远离区域的位置的差,将所述实际测定范围设定在所述初始测定范围的外侧。
3.根据权利要求2所述的形状测定装置,其特征在于,其中所述实际测定范围设定部基于所述线状的图案或所述线状的扫描区域相对于所述旋转轴的附近区域与远离区域的距离的差,
将所述实际测定开始位置或实际测定结束位置中距所述旋转轴中心较近的一方设定在比所述初始测定范围更靠近所述旋转轴的位置,或者将所述实际测定开始位置或所述实际测定结束位置中位于径向外侧的一方设定在比所述初始测定范围更远离所述旋转轴的位置。
4.根据权利要求1所述的形状测定装置,其特征在于,其还具有对所述移动机构进行控制的控制部,
所述控制部根据投影在所述被测定物上的情况下的所述图案或所述线状扫描范围与所述旋转轴的相对位置关系对所述移动机构进行控制。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的形状测定装置,其特征在于,其中所述控制部根据所述线状图案的方向或所述线状扫描范围的长度方向,对使所述被测定物与所述探针在与所述旋转方向交叉的方向上相对地移动的移动量进行控制;所述线状图案的方向或所述线状扫描范围的长度方向是基于所述线状图案的、在所述被测定物上的投影位置、或与所述线状扫描范围相关的、在所述被测定物上的位置而设定。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的形状测定装置,其特征在于,其中所述被测定物在圆周方向上具有重复形状,且具有在与所述圆周方向不同的方向上延伸的凹凸形状,且
所述初始测定范围设定部是沿着所述被测定物的重复形状中的一个形状的长度方向而设定所述初始测定范围。
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