[发明专利]形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、形状测定程序、以及记录介质有效

专利信息
申请号: 201480040836.2 申请日: 2014-07-17
公开(公告)号: CN105452802B 公开(公告)日: 2019-02-01
发明(设计)人: 中村裕 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 日本国东京都千*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 形状 测定 装置 构造 制造 系统 方法 程序 以及 记录 介质
【说明书】:

本发明能够更加简单地且在短时间内测量出被测定物的形状。形状测定装置具有:探针,包含投影光学系统及摄像装置,所述投影光学系统向所述被测定物的表面投影线状图案,或至少在线状扫描范围内一边扫描一边投影点图案;所述摄像装置对投影在所述被测定物上的图案像进行检测;移动机构,以使所述被测定物相对于所述探针以旋转轴为中心而旋转的方式使所述被测定物与所述探针相对性地旋转,并且使所述探针与所述被测定物中的任一者至少在相对于所述被测定物旋转的旋转方向而交叉的方向上相对性地移动;测定区域设定部,对所述被测定物的测定区域进行设定;以及实际测定区域设定部,基于利用所述测定区域设定部而设定的测定区域,对包含实际测定开始位置及实际测定结束位置的实际测定区域进行设定。所述实际测定区域设定部以比所述测定区域更靠近所述旋转轴的方式,设定所述实际测定开始位置或所述实际测定结束位置中距旋转轴中心较近的一方,或者将所述实际测定开始位置或所述实际测定结束位置中位于径向外侧的一方设定在比所述测定范围更远离旋转轴的方向上。

技术领域

本发明涉及一种形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、形状测定程序、以及记录介质。

背景技术

关于形状测定装置,众所周知的是通过接触传感器对例如齿轮或涡轮等具有复杂的形状的测定对象的表面形状进行测定的形状测定装置。这种形状测定装置将使接触传感器与测定对象的表面接触的状态时接触传感器的位置转换成测定对象的表面的空间坐标,而对测定对象的表面形状进行测定(例如,参照专利文献1)。

先前技术文献

专利文献

专利文献1:日本专利特公平08-025092号公报

发明内容

[发明所欲解决的课题]

对于形状测定装置,希望缩短测定时间,但在专利文献1所记载的形状测定装置的情况下,由于重复进行使接触传感器与测定对象的表面接触的动作,所以测定时间变长,因此无法使测定点的数量增多。

此处,作为形状测定装置,存在一种使用光切断法等的形状测定装置,即,将具有成为指定图案的光量分布的光束投影在被测定物来对其形状进行测量而测量出被测定物的形状。使用光切断法等的形状测定装置能够以非接触方式测量出形状,因此能够更加高速地测量出形状。但是,使用光切断法等的形状测定装置必须设定用来进行测定的各种条件,步骤、处理都比较复杂。

本发明是考虑到诸如以上的点而完成的,其目的在于提供一种能够更加简单地测量出被测定物的形状的形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、形状测定程序、及记录介质。

[解决课题的技术手段]

根据本发明的第一方案,提供一种形状测定装置,其是对被测定物的形状进行测定的形状测定装置,且具有:探针,包含投影光学系统及摄像装置,所述投影光学系统向所述被测定物的表面投影线状图案,或至少在线状扫描范围内一边扫描点图案,一边投影点图案;所述摄像装置对投影在所述被测定物上的图案像进行检测;移动机构,以使所述被测定物相对于所述探针以旋转轴为中心而旋转的方式使所述被测定物与所述探针相对性地旋转,并且使所述探针与所述被测定物中的任一者至少在与所述相对性地旋转的旋转方向交叉的方向上相对性地移动;测定范围设定部,对所述被测定物的测定范围进行设定;以及实际测定范围设定部,基于利用所述测定范围设定部而设定的测定范围,对包含实际测定开始位置及实际测定结束位置的实际测定范围进行设定;且所述实际测定范围设定部以比所述测定范围更靠近所述旋转轴的方式,设定所述实际测定开始位置或所述实际测定结束位置中距旋转轴中心较近的一方,或者将所述实际测定开始位置或所述实际测定结束位置中位于径向外侧的一方设定在比所述测定范围更远离旋转轴的方向上。

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