[发明专利]三氯硅烷的制备在审
| 申请号： | 201480042657.2 | 申请日： | 2014-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN105408251A | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | M·索博塔;A·阿尔贝 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李振东;过晓东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅烷 制备 | ||
【权利要求书】：
1.一种通过冶金硅(mg-Si)与HCl的反应制备三氯硅烷(TCS)的方法，其包括使用钛含量高于0.06重量％的mg-Si。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述mg-Si的钛含量高于或等于0.08重量％，且低于或等于0.12重量％。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述mg-Si的磷含量高于或等于30ppmw。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的方法，其中所述mg-Si在凝固过程中的最大平均厚度为30mm或最大平均直径为15mm。
5.根据权利要求4所述的方法，其中所述mg-Si是通过水淬粒化法制备的。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的方法，其中所述mg-Si的Si含量高于98重量％。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的方法，其中所述反应是在280-400℃的温度下进行的。
8.根据权利要求7所述的方法，其中所述反应是在320-380℃的温度下进行的。
9.根据权利要求1-8中任意一项所述的方法，其中所述反应是在0.1-30bar的压力下进行的。
10.根据权利要求9所述的方法，其中所述反应是在1-4bar的压力下进行的。
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