[发明专利]波长可变光源有效
申请号: | 201480044218.5 | 申请日: | 2014-06-26 |
公开(公告)号: | CN105453351B | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 藁科祯久 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | H01S5/06 | 分类号: | H01S5/06;G01J3/08;G01J3/26;G02B26/00;H01S5/183;H01S5/40 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 反射镜 波长可变光源 半反射镜 光共振器 激光媒介 驱动机构 全反射镜 滤光器 反射 联动 | ||
1.一种波长可变光源,其特征在于:
具备:
第1激光媒介物,放大具有第1波长带宽的第1光;
第1全反射镜以及第1部分反射镜,构成使所述第1光进行光学共振的第1光共振器;
第2激光媒介物,放大具有第2波长带宽的第2光;
第2全反射镜以及第2部分反射镜,构成使所述第2光进行光学共振的第2光共振器;
第1法布里-珀罗干涉滤光器,具有一对第1反射镜且被配置于第1位置,并且选择性地使包含于所述第1光以及所述第2光的特定波长的光透过以及反射并引导至第1部分反射镜和/或第2部分反射镜,所述第1位置是所述第1光的第1光路上的所述第1激光媒介物与所述第1部分反射镜之间并且所述第2光的第2光路上的所述第2激光媒介物与所述第2部分反射镜之间的位置;
第2法布里-珀罗干涉滤光器,具有一对第2反射镜且被配置于第2位置,并且选择性地使所述第1光以及所述第2光透过以及反射,所述第2位置是所述第1光路上的所述第1激光媒介物与所述第1法布里-珀罗干涉滤光器之间并且所述第2光路上的所述第2激光媒介物与所述第1法布里-珀罗干涉滤光器之间的位置;
第1驱动机构,使所述第1法布里-珀罗干涉滤光器的一方的所述第1反射镜以及所述第2法布里-珀罗干涉滤光器的一方的所述第2反射镜联动而动作;以及
第2驱动机构,使所述第2法布里-珀罗干涉滤光器的另一方的所述第2反射镜动作。
2.如权利要求1所述的波长可变光源,其特征在于:
进一步具备以一对所述第1反射镜之间的第1间隙以及一对所述第2反射镜之间的第2间隙周期性地进行变化的形式控制所述第1驱动机构的控制部。
3.如权利要求2所述的波长可变光源,其特征在于:
所述控制部使一方的所述第1反射镜以及一方的所述第2反射镜往复动作并将所述往复动作的频率设定成所述第1驱动机构的谐振频率。
4.如权利要求2所述的波长可变光源,其特征在于:
所述控制部以所述第2反射镜的状态被切换成所述第2间隙与所述第1间隙不同的第1状态和所述第2间隙与所述第1间隙相等的第2状态的形式控制所述第2驱动机构。
5.如权利要求3所述的波长可变光源,其特征在于:
所述控制部以所述第2反射镜的状态被切换成所述第2间隙与所述第1间隙不同的第1状态和所述第2间隙与所述第1间隙相等的第2状态的形式控制所述第2驱动机构。
6.如权利要求1~5中任意一项所述的波长可变光源,其特征在于:
所述第1法布里-珀罗干涉滤光器、所述第2法布里-珀罗干涉滤光器、所述第1驱动机构以及所述第2驱动机构被形成于相同的半导体基板。
7.如权利要求1~5任意一项所述的波长可变光源,其特征在于:
进一步具备:
被配置于所述第1光路上的所述第1激光媒介物与所述第2法布里-珀罗干涉滤光器之间的位置并且使所述第1光准直的第1光学元件;以及
被配置于所述第2光路上的所述第2激光媒介物与所述第2法布里-珀罗干涉滤光器之间的位置并且使所述第2光准直的第2光学元件。
8.如权利要求6所述的波长可变光源,其特征在于:
进一步具备:
被配置于所述第1光路上的所述第1激光媒介物与所述第2法布里-珀罗干涉滤光器之间的位置并且使所述第1光准直的第1光学元件;以及
被配置于所述第2光路上的所述第2激光媒介物与所述第2法布里-珀罗干涉滤光器之间的位置并且使所述第2光准直的第2光学元件。
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