[发明专利]循环冷却加热装置

说明书

技术领域

本发明涉及循环冷却加热装置，特别是涉及用于等离子体蚀刻装置的循环冷却加热装置。

背景技术

目前，在等离子体蚀刻装置等半导体处理装置中设置有控制腔室的温度的温度控制装置。在具体的温度控制装置中，用流量计测量调节温度的循环流体的泵排出流量，基于测量结果进行反馈控制等，由此，将该泵排出流量控制为目标流量，将腔室维持在目标温度。因此，在温度控制装置中设置有冷却或加热循环流体、或者通过泵使被调温的循环流体在与腔室之间循环、或者测量循环流体的流量的循环冷却加热装置。

另一方面，作为循环流体的温度，迄今为止设为90℃左右，但近年来希望以更高温进行温度调整。因此，在具有叶片等旋转部分的普通的流量计中，因来自高温的循环流体的热影响，有可能使机械可靠性显著降低。因此，使用对应高温度型的流量计，但这种流量计采用用于抑制热影响的复杂构造及特殊的材料，变为价格高的规格。

然而，公知的是，向腔室供给的循环流体的流量、和在循环流体流动的流路的流体压力相互处于相关关系(例如，专利文献1)。因此，考虑到，代替流量计，通过使用构造简单且难以受到热影响的压力传感器，基于检测到的循环流体的压力，将循环流体的压力维持在目标压力或基于根据该压力换算的流量，将循环流体的流量控制为目标流量。由此，不需要价格高的流量计，能实现循环冷却加热装置的零件成本降低。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:(日本)特开2006－210732号公报

发明所要解决的课题

但是，虽说压力传感器是不易受到热影响的构造，进而，即使在使用高温的循环流体的情况等下，也有可能不能充分对应。这种情况下，为了确保压力传感器的可靠性，有可能要求特殊的构造，但不是对应高温型的流量计那种程度，会产生循环冷却加热装置的零件成本增大这样的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供即使是使用廉价的压力传感器的情况下，也可以确保可靠性的循环冷却加热装置。

用于解决课题的技术方案

本发明的循环冷却加热装置是将对等离子体蚀刻装置的腔室供给的循环流体冷却、加热的装置，其特征在于，具备：在循环流体与冷却水之间进行热交换的热交换器、加热循环流体的加热单元、在与所述腔室之间使循环流体循环的泵、使冷却水流通的冷却水流通块、检测被冷却或加热的循环流体的压力的压力检测单元，所述压力检测单元安装于所述冷却水流通块。

本发明的循环冷却加热装置中，优选所述压力检测单元和取出循环流体的压力的压力取出部之间分开，并且通过规定长度的压力取出管连接，所述压力取出管在位于重力作用方向的上侧的所述压力取出部、和位于重力作用方向的下侧的所述压力检测单元之间倾斜设置，所述压力取出管的倾斜角度相对于水平面为10～30°。

本发明的循环冷却加热装置中，优选具备使冷却空气沿着规定的方向流通的冷却风扇，所述压力检测单元配置于所述冷却空气的流动方向的上游侧。

本发明的循环冷却加热装置中，基于由压力检测单元检测的检测结果，将来自被温度调节的循环流体的泵的排出流量控制为一定，将腔室温度维持在一定。而且，在该循环冷却加热装置中，冷却水在冷却水流通块流通，冷却水流通块的温度因冷却水而维持在低温。因此，安装于这种冷却水流通块的压力检测单元也维持在低温，不易受到在高温下使用的循环流体的热影响，因此，即使是使用廉价的压力检测单元的情况，也能够确保其可靠性。

本发明的循环冷却加热装置中，由于使取出循环流体的压力的压力取出管倾斜，所以即使在压力取出管内存在空气的情况下，这种空气也能够沿着压力取出管的倾斜向上方侧移动，从压力取出管内排出，因此，能够响应性高地检测出循环流体的压力。另外，在这种压力取出管的内部存在与压力取出管的长度对应的量的循环流体，但内部的循环流体处于滞留状态，不是通常高温的循环流体流通的意思，所以即使较长地设置压力取出管，也不易受到来自循环流体的热影响。

此外，若压力取出管的倾斜角度比10°小，则倾斜角度形成的压力取出管的斜度减小，所以内部的空气等不能从上方侧充分地排泄掉。相反，若倾斜角度比30°大，则考虑到压力检测单元和压力取出部过于接近，布置排列状的构造变得复杂，维护保养等变得麻烦。

本发明的循环冷却加热装置中，由于将压力检测单元配置于冷却空气的上游侧，所以处于低温状态的冷却空气通过压力检测单元周围，压力检测单元通过冷却空气更有效地冷却，能进一步抑制热影响。

附图说明