[发明专利]驱动器、开闭装置、流体控制装置、开关及传感器装置

权利要求书

1.一种驱动器，具备：

具备平面配置的固定电极及可动电极的静电驱动机构；

设有上述可动电极且由上述静电驱动机构驱动的第一可动部；

以上述可动电极能相对于上述固定电极在相同的面内滑动移动的方式弹性支撑上述第一可动部的第一弹性支撑部；

形成于上述静电驱动机构的上述固定电极及上述可动电极的至少一方的驻极体；以及

控制向上述静电驱动机构的电压施加的驱动控制部，

该驱动器的特征在于，

在与上述第一可动部的移动方向垂直的方向上，上述可动电极的下端与上述固定电极的下端位于相同的平面上，该相同的平面与上述可动电极的移动方向平行，

在上述驱动器上设定多个将上述第一可动部定位于由上述驻极体引起的静电力与上述第一弹性支撑部的弹性力平衡的稳定位置或设于其附近的稳定位置的稳定状态，

上述驱动控制部通过对上述静电驱动机构施加电压来使由该静电驱动机构的上述驻极体产生的静电力暂时地减弱，以使从任意的稳定状态向其他稳定状态变化，使上述第一可动部从任意的稳定位置向其他稳定位置移动。

2.根据权利要求1所述的驱动器，其特征在于，

上述静电驱动机构至少具有具备作为上述固定电极的固定梳齿电极及作为上述可动电极的可动梳齿电极的梳齿驱动部，并且，上述可动梳齿电极相对于上述固定梳齿电极的插入量变化的方向与上述滑动移动的方向一致，

在上述固定梳齿电极及上述可动梳齿电极的至少一方形成上述驻极体。

3.根据权利要求2所述的驱动器，其特征在于，

上述静电驱动机构具备：

第一梳齿驱动部，其具有第一固定梳齿电极及能插脱地与该第一固定梳齿电极啮合的第一可动梳齿电极；以及

第二梳齿驱动部，其具有相对于上述第一固定梳齿电极隔着间隔地对置配置的第二固定梳齿电极以及能插脱地与该第二固定梳齿电极啮合的第二可动梳齿电极，

第一可动部配置于上述第一固定梳齿电极与上述第二固定梳齿电极之间，并且，设有上述第一可动梳齿电极及第二可动梳齿电极，

第一弹性支撑部以能在上述第一可动梳齿电极及第二可动梳齿电极相对于上述第一固定梳齿电极及第二固定梳齿电极的各插入量变化的方向滑动移动的方式弹性支撑上述第一可动部，

上述驻极体具有：设于上述第一固定梳齿电极及上述第一可动梳齿电极的至少一方的第一驻极体；以及设于上述第二固定梳齿电极及上述第二可动梳齿电极的至少一方的第二驻极体，

作为多个上述稳定位置，设定下述稳定位置：

第一稳定位置，其为上述第一可动梳齿电极被上述第一固定梳齿电极吸引至上述第二可动梳齿电极的插入量为零的位置且由上述第一驻极体引起的第一静电力与上述第一弹性支撑部的弹性力平衡的稳定位置，或设于其附近的稳定位置；以及

第二稳定位置，其为上述第二可动梳齿电极被上述第二固定梳齿电极吸引至上述第一可动梳齿电极的插入量为零的位置且由上述第二驻极体引起的第二静电力与上述第一弹性支撑部的弹性力平衡的稳定位置，或设于其附近的稳定位置，

上述驱动控制部对上述第一梳齿驱动部施加减弱上述第一静电力的第一电压，使上述第一可动部从上述第一稳定位置向上述第二稳定位置移动，

上述驱动控制部对上述第二梳齿驱动部施加减弱上述第二静电力的第二电压，使上述第一可动部从上述第二稳定位置向上述第一稳定位置移动。