[发明专利]驱动器、开闭装置、流体控制装置、开关及传感器装置

说明书

驱动器具备：具备固定电极及可动电极的静电驱动机构；由静电驱动机构驱动的第一可动部；弹性支撑第一可动部的第一弹性支撑部；形成于固定电极及可动电极的至少一方的驻极体；以及控制向静电驱动机构的电压施加的驱动控制部。在驱动器上，在由驻极体引起的静电力与第一弹性支撑部的弹性力平衡的稳定位置或设于其附近的稳定位置设定多个对第一可动部进行定位的稳定状态。通过对静电驱动机构施加电压，能够使第一可动部从任意的稳定位置向其他稳定位置移动。

技术领域

本发明涉及具备形成有驻极体的梳齿电极且能向多个稳定位置移动的驱动器、具备该驱动器的开闭装置、流体控制装置、开关及二维扫描型传感器装置。

背景技术

作为具备驻极体且双稳定结构的驱动器，已知专利文献1所记载的技术。在专利文献1所记载的静电继电器中，以夹持能动摇运动的可动板的方式配置固定侧驱动电极与驻极体，通过对固定侧驱动电极施加电压，使可动板进行动摇运动而进行接点的接通断开。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特开平5-2978号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，由于是可动板进行动摇的结构，因此，需要能进行动摇运动的程度的高度方向空间。因此，存在静电继电器的高度尺寸变大的缺点。另外，由于是以由上侧及下侧的固定侧基体夹持形成有可动板的可动侧基体的方式结合的结构，因此，需要正确的位置重合，还存在工序增加的缺点。

用于解决课题的方法

根据本发明的第一方案，驱动器具备：具备固定电极及可动电极的静电驱动机构；设有可动电极且由静电驱动机构驱动的第一可动部；以可动电极能相对于固定电极在面内滑动移动的方式弹性支撑第一可动部的第一弹性支撑部；形成于静电驱动机构的固定电极及可动电极的至少一方的驻极体；以及控制向静电驱动机构的电压施加的驱动控制部。在驱动器上设定多个将第一可动部定位于由驻极体引起的静电力与第一弹性支撑部的弹性力平衡的稳定位置或设于其附近的稳定位置的稳定状态。驱动控制部通过对静电驱动机构施加电压来控制该静电驱动机构的静电力，以使从任意的稳定状态向其他稳定状态变化，使第一可动部从任意的稳定位置向其他稳定位置移动。

根据本发明的第二方案，在第一方案的驱动器中，静电驱动机构至少具有具备作为固定电极的固定梳齿电极及作为可动电极的可动梳齿电极的梳齿驱动部，并且，可动梳齿电极相对于固定梳齿电极的插入量变化的方向与滑动移动的方向一致，在固定梳齿电极及可动梳齿电极的至少一方形成驻极体。