[发明专利]可调谐滤波器

说明书

技术领域

本发明涉及使用具有LiNbO₃基板的弹性波谐振器来构成的可调谐滤波器。

背景技术

例如在下述专利文献1中公开了具有由弹性波谐振器构成的串联臂谐振器和由弹性波谐振器构成的并联臂谐振器的可调谐滤波器。在该可调谐滤波器中，串联臂谐振器分别串联及并联地连接着可变电容器。同样地，并联臂谐振器也分别串联及并联地连接着可变电容器。

在下述非专利文献1所记载的可调谐滤波器所采用的声表面波谐振器中，Cu电极被埋入设置在压电基板的表面的沟槽中。该声表面波谐振器利用基于洛夫波的谐振特性。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2009-130831号公报

非专利文献

非专利文献1：Band Pass Type of Tunable Filters composed of Ultra Wide Band SAW Resonators by adjusting Capacitors connected SAW Resonators，2011 IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，在专利文献1所记载的可调谐滤波器中，存在频率可变宽度狭窄的问题。

另一方面，在非专利文献1所记载的可调谐滤波器中，Cu电极被埋入所采用的压电基板表面的沟槽中。因此，存在制造工序繁杂、成本昂贵的问题。再者，构成IDT电极、反射器的每1根电极指的反射系数小。因而，阻带的宽度变得狭窄，难以在宽的频域中获得良好的谐振特性。再有，反谐振频率附近的滤波器特性容易劣化。

本发明的目的在于，提供一种利用洛夫波且滤波器特性的陡峭性优越、还能扩展频率可变宽度的可调谐滤波器。

用于解决技术问题的手段

本发明涉及的可调谐滤波器，具备：压电谐振器；频带扩展用电感，其与上述压电谐振器连接；和可变电容，其与上述压电谐振器连接，上述可调谐滤波器利用洛夫波，上述压电谐振器具有LiNbO₃基板、和被设置在LiNbO₃基板上的IDT电极，通频带及衰减频带位于比下述值低的低频域，该值是在LiNbO₃基板中传播慢的横波的声速除以由上述IDT电极的周期决定的波长而得到的。

在本发明涉及的可调谐滤波器的某一特定的方面中，具有：输入端子；和输出端子，上述压电谐振器具有：第1压电谐振器，其被设置在连结上述输入端子与上述输出端子的串联臂、且由弹性波谐振器构成；以及第2压电谐振器，其被设置在连结上述串联臂与接地电位的并联臂、且由弹性波谐振器构成，上述频带扩展用电感具有：第1电感，其与上述第1压电谐振器连接、且对上述第1压电谐振器的相对频带进行扩展；以及第2电感，其与上述第2压电谐振器连接、且对上述第2压电谐振器的相对频带进行扩展，上述可变电容具有：第1可变电容，其与上述第1压电谐振器连接、且与第1压电谐振器及上述第1电感一起构成了第1可变谐振电路；以及第2可变电容，其与上述第2压电谐振器及上述第2电感一起构成了第2可变谐振电路。

在本发明涉及的可调谐滤波器的其他特定的方面中，上述IDT电极由Pt膜构成，在将Pt膜的膜厚设为H(λ)、将上述LiNbO₃基板的欧拉角设为时，θ处于从-64960×H³+19831×H²-2068.4×H+169.7-10°...(式1)到-64960×H³+19831×H²-2068.4×H+169.7+6°...(式2)的范围内，处于-27°～+27°的范围内，ψ处于-47°～+47°的范围内。

在本发明涉及的可调谐滤波器的又-特定的方面中，上述Pt膜的厚度H为0.023λ以上。

在本发明涉及的可调谐滤波器的另一特定的方面中，在将上述IDT电极的厚度设为H(λ)、将该IDT电极的密度P与Pt的密度P_Pt之比P/P_Pt设为A时，在欧拉角中，