[发明专利]基板检查装置

权利要求书

1.一种基板检查装置，其中，包括：

测量单元，其针对包括多个检查区域的检查基板，根据确定的测量顺序，测量所述多个检查区域，从而获得各检查区域的影像数据；

控制部，其包括多个数据处理部及优化模块，所述多个数据处理部执行从所述测量单元传送的所述各检查区域的多个影像数据的数据处理，所述优化模块考虑已知的所述测量单元的移动时间及所述各检查区域的影像数据的数据处理时间，设置所述多个检查区域的优化的测量顺序及所述多个数据处理部的优化的数据处理顺序；及

用户界面，其显示与通过所述优化模块而优化的所述测量顺序及所述数据处理顺序相关的优化相关信息；

其中，所述用户界面包括检查区域顺序图部，所述检查区域顺序图部显示所述多个数据处理部对所述各检查区域影像数据进行数据处理的数据处理顺序，其中所述各检查区域的多个影像数据根据通过所述优化模块而优化的测量顺序而获得。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，

所述检查区域顺序图部在x轴显示时间，在y轴显示所述多个数据处理部的序号，把所述各检查区域的影像数据的数据处理顺序显示为具有与数据处理时间对应长度的条形态的处理时间块。

3.根据权利要求2所述的基板检查装置，其中，

所述检查区域顺序图部根据使用者的选择，把代表所述检查单元的移动时间的移动时间块显示于所述检查区域块的前端。

4.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，

所述用户界面还包括条图部，所述条图部针对所述检查基板中包括的全体检查区域，以按测量顺序排列成一列的检查区域块形态显示。

5.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，

所述用户界面还包括基板图像显示部，所述基板图像显示部对所述多个检查区域显示的所述检查基板的图像进行显示。

6.根据权利要求5所述的基板检查装置，其中，

所述基板图像显示部根据使用者的检查区域选择，对选择的检查区域进行加亮处理并显示。

7.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，

所述用户界面还包括属性显示部，其包括显示根据执行一个以上的优化算法的结果数据的算法显示部、显示硬件的参数的参数显示部、用于使路径优化运行的优化运行部、用于使模拟运行的模拟运行部，及显示由使用者选择的对于检查区域的详细信息的检查区域信息显示部中至少一个。