[发明专利]基板支撑系统

权利要求书

1.一种基板工艺腔室，包括：

腔室主体，所述腔室主体封闭处理区域；

主基板支撑件和次基板支撑件，所述主基板支撑件和所述次基板支撑件至少部分地设置在所述处理区域中，所述次基板支撑件外接所述主基板支撑件，其中，所述主基板支撑件和所述次基板支撑件两者相对于彼此是独立地线性地可移动的，并且所述主基板支撑件相对于所述次基板支撑件是可旋转的。

2.如权利要求1所述的工艺腔室，其中所述主基板支撑件包括：

基座；以及

致动器，所述致动器可操作地旋转所述基座。

3.如权利要求2所述的工艺腔室，其中所述次基板支撑件包括：

单个的边缘支撑构件，所述单个的边缘支撑构件用于支撑基板的边缘。

4.如权利要求3所述的工艺腔室，其中所述单个的边缘支撑构件包括一个或多个槽以接收机器人叶片的部分。

5.如权利要求2所述的工艺腔室，其中所述基座包括外周肩部区域以至少部分地接收所述次基板支撑件。

6.如权利要求3所述的工艺腔室，进一步包括：

致动器，所述致动器可操作地竖直地移动所述单个的边缘支撑构件。

7.如权利要求2所述的工艺腔室，其中所述次基板支撑件包括：

多个边缘支撑构件，所述多个边缘支撑构件用于支撑基板的边缘。

8.如权利要求7所述的工艺腔室，进一步包括：

致动器，所述致动器可操作地竖直地移动所述多个边缘支撑构件。

9.如权利要求7所述的工艺腔室，进一步包括：

致动器，所述致动器可操作地竖直地或横向地移动所述多个边缘支撑构件。

10.如权利要求7所述的工艺腔室，其中所述基座包括：

外周边缘，所述外周边缘具有多个切断区域以至少部分地接收所述多个边缘支撑构件中的相应的边缘支撑构件。

11.一种基板工艺腔室，包括：

腔室主体，所述腔室主体封闭处理区域；

基座，所述基座设置在所述处理区域中，并且用于支撑基板的主要表面；以及

边缘支撑构件，所述边缘支撑构件设置在所述处理区域中，并且用于当所述基板的所述主要表面不由所述基座支撑时来间歇性地支撑所述基板的边缘，其中所述基座相对于所述边缘支撑构件是可旋转的，并且所述边缘支撑构件相对于所述基座是可移动的。

12.如权利要求11所述的工艺腔室，其中所述边缘支撑构件包括环，并且所述环包括一个或多个槽以接收机器人叶片的部分。

13.如权利要求12所述的工艺腔室，进一步包括致动器，所述致动器可操作地竖直地移动所述环。

14.如权利要求13所述的工艺腔室，其中所述基座包括：

外周肩部区域，所述外周肩部区域用于至少部分地接收所述环。

15.如权利要求11所述的工艺腔室，其中所述边缘支撑构件包括：

多个边缘支撑构件；以及致动器，所述致动器可操作地竖直地移动所述多个边缘支撑构件。

16.如权利要求15所述的工艺腔室，其中所述基座包括：

外周边缘，所述外周边缘具有多个切断区域以至少地部分地接收所述多个边缘支撑构件中的相应的边缘支撑构件。