[发明专利]印刷用掩膜以及使用该掩膜的印刷方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种在被印刷物印刷图案的掩膜以及使用该掩膜的印 刷方法，详细而言，涉及一种通过形成掩膜基材与保持部件的层叠构造， 来抑制图案的错位、变形的印刷用掩膜以及使用该掩膜的印刷方法。

背景技术

以往的印刷用丝网掩模成为例如在铺丝于网板版框的网板筛网上 形成抗蚀剂图案的结构。网板筛网的材料能够使用丝、尼龙、聚酯等树 脂纤维、不锈钢筛网等。抗蚀剂图案在网板筛网涂覆感光乳剂并使之干 燥而形成感光膜后，使光掩模密接于该感光膜，并进行曝光、显影而形 成。

在印刷时，使拉伸设置于网板版框的丝网掩模在印刷面上分离微小 的距离来设置，向该丝网掩模上供给墨水(或是浆)。然后，边通过刮 板的压力将丝网掩模按压于印刷面，边从丝网掩模的开口部将墨水推出 到印刷面上，从而将图案转印到印刷面上(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开平9-216330号公报

然而，在上述以往的印刷用掩膜以及印刷方法中，存在因通过刮板 延展墨水时所施加的压力，使抗蚀剂图案偏移、变形而影响图案精度的 问题。特别是，细长的直线状的配线以窄间距配置的图案等中，抗蚀剂 图案容易在与配线的延设方向正交的横向偏移、变形，从而图案精度的 降低变得显著。

发明内容

因此，为应对这样的问题点，本发明所要解决的课题在于提供一种 通过形成掩膜基材与保持部件的层叠构造，来抑制图案的错位、变形的 印刷用掩膜以及使用该掩膜的印刷方法。

为了解决上述课题，本发明的印刷用掩膜的特征在于，具备：掩膜 基材，其具有形成于印刷面侧并与待印刷的图案相对应的印刷槽图案、 与贯通于该印刷槽图案的底面且内径小于其底面宽度的贯通孔；以及保 持部件，其层叠于上述掩膜基材并具有经由上述掩膜基材的贯通孔而与 上述印刷槽图案内连通以填充转印材料的开口图案，上述印刷槽图案在 上述贯通孔以外的周边区域连接。

另外，上述贯通孔也可以在上述印刷槽图案的底面设置有多个。

另外，上述掩膜基材也可以由树脂膜构成，上述保持部件由片状且 上述开口图案在长边方向以及短边方向的至少一方以规定间距形成的 磁性金属材料构成。

再者，也可以还具备制版框，其包围上述掩膜基材与上述保持部件 的周围而拉伸设置上述掩膜基材与上述保持部件。

为了解决上述课题，本发明的印刷方法使用印刷用掩膜来进行印 刷，上述印刷用掩膜具备：掩膜基材，其具有形成于印刷面侧并与待印 刷的图案相对应的印刷槽图案、与贯通于该印刷槽图案的底面且内径小 于其底面宽度的贯通孔；以及保持部件，其层叠于上述掩膜基材并具有 经由上述掩膜基材的贯通孔而与上述印刷槽图案内连通以填充转印材 料的开口图案，上述印刷槽图案在上述贯通孔以外的周边区域连接，上 述印刷方法包括：在被印刷物的印刷面上配置并固定上述印刷用掩膜的 印刷面的工序、在上述保持部件涂覆转印材料并从上述保持部件的开口 图案经由上述掩膜基材的贯通孔向上述印刷槽图案内填充转印材料的 工序、使上述掩膜基材的印刷槽图案内的转印材料覆盖于上述被印刷物 而转印图案的工序、以及将上述印刷用掩膜从上述被印刷物剥离的工 序。

另外，上述保持部件也可以由片状的磁性金属材料构成，配置并固 定上述印刷用掩膜的印刷面的工序从与上述被印刷物的印刷面相反的 一侧由磁力吸引并固定。

另外，上述转印材料也可以包括光致抗蚀剂，在上述被印刷物印刷 形成光致抗蚀剂的图案。

根据本发明的印刷用掩膜，形成具有印刷槽图案以及贯通孔的掩膜 基材与具有开口图案的保持部件的层叠构造，上述印刷槽图案在贯通孔 以外的周边区域连接，从而能够抑制形成于掩膜基材的印刷槽图案的错 位、变形。

另外，根据本发明的印刷方法，在涂覆、填充转印材料的工序中， 印刷槽图案在贯通孔以外的周边区域连接，从而能够抑制因通过刮板延 展转印材料时所施加的压力，使形成于掩膜基材的印刷槽图案错位、变 形。因此，即使是细微接近的图案，也能够减少印刷后的图案的错位、 变形，而进行图案精度较高的印刷。

附图说明

图1是表示本发明的印刷用掩膜的实施方式的简要结构的立体图。

图2A放大显示图1所示的印刷用掩膜的一部分的区域，是一部分 区域的俯视图。

图2B放大显示图1所示的印刷用掩膜的一部分的区域，是沿着图 2A的X1-X1’线的剖视图。