[发明专利]金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造掩模的方法

权利要求书

1.一种金属板的制造方法，其为通过形成2个以上的贯通孔而用于制造掩模的金属板的制造方法，其中，

所述掩模的所述贯通孔是通过对所传送的长条状的所述金属板进行蚀刻而形成的，

所述金属板的制造方法具备下述工序：

轧制工序，在该工序中，对母材进行轧制而得到所述金属板；和

切断工序，在该工序中，以预定范围切掉所述金属板的宽度方向的一端和另一端，

所述切断工序后的所述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同，

将所述切断工序后的所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(1)～(3)，

(1)所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下；

(2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陡峭度的最大值以下；和

(3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下；

所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述切断工序后的所述金属板的宽度的30%、40%和30%的部分，

由所述金属板制造的所述掩模是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模，

所述金属板的厚度为0.020mm以上且0.100mm以下。

2.如权利要求1所述的金属板的制造方法，其中，在所述切断工序中切断的所述金属板的一端侧的范围和另一端侧的范围是基于在所述切断工序之前实施的所述金属板的所述起伏形状的观察工序的结果所决定的。

3.如权利要求1或2所述的金属板的制造方法，其中，该制造方法进一步具备退火工序，在该工序中，将通过所述轧制工序得到的所述金属板退火，以除去所述金属板的内部应力，

所述退火工序在沿长度方向拉伸所述轧制后的母材的同时实施。

4.如权利要求1或2所述的金属板的制造方法，其中，所述母材含有包含镍的铁合金。

5.一种掩模的制造方法，其为制造形成有2个以上贯通孔的掩模的方法，其中，

该制造方法具备下述工序：

准备金属板的工序，该金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同；

抗蚀剂图案形成工序，该工序中，在所述金属板上形成抗蚀剂图案；和

蚀刻工序，该工序中，对所述金属板中的未被所述抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀刻，在所述金属板形成用于划出所述贯通孔的凹部；

将所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(1)～(3)，

(1)所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下；

(2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陡峭度的最大值以下；和

(3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下；

所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述金属板的宽度的30%、40%和30%的部分，

所述掩模是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模，

所述金属板的厚度为0.020mm以上且0.100mm以下。

6.如权利要求5所述的掩模的制造方法，其中，

所述蒸镀掩模具备形成有2个以上贯通孔的有效区域、和位于所述有效区域的周围的周围区域，

所述蚀刻工序对所述金属板中的未被所述抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀刻，在用于形成所述有效区域的所述金属板的区域内形成用于划出所述贯通孔的凹部。

7.如权利要求5或6所述的掩模的制造方法，其中，

所述抗蚀剂图案形成工序具有：

在所述金属板上形成抗蚀剂膜的工序、

使曝光掩模与所述抗蚀剂膜真空密合的工序、和

隔着所述曝光掩模将所述抗蚀剂膜以预定的图案曝光的工序。

8.如权利要求5或6所述的掩模的制造方法，其中，所述金属板含有包含镍的铁合金。