[发明专利]图案形成方法以及使用该方法的触摸面板的制造方法

权利要求书

1.一种图案形成方法，其特征在于，

使用具有对形成于对象物面上的图案进行了分割的开口图案的多 个溅射用掩膜进行多次溅射成膜，并且合成通过所述多个溅射用掩膜分 别成膜了的图案而形成单一的图案。

2.根据权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于，

所述开口图案被沿图案的长度方向分割。

3.根据权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于，

所述单一的图案是形成于对象物面上的图案的至少一部分。

4.根据权利要求2所述的图案形成方法，其特征在于，

所述单一的图案是形成于对象物面上的图案的至少一部分。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的图案形成方法，其特征在 于，

所述多个溅射用掩膜分别具备具有所述开口图案的掩膜片与包围 该掩膜片的周围并且供该掩膜片张设的框体。

6.根据权利要求5所述的图案形成方法，其特征在于，

所述掩膜片包括树脂掩膜片、复合型掩膜片以及金属掩膜片中的任 一个，其中，所述树脂掩膜片在树脂膜形成有所述开口图案，所述复合 型掩膜片具有并列配置有狭缝状的多个贯通孔的金属膜、与层叠于该金 属膜的一面并且在所述贯通孔内形成有至少一个所述开口图案的树脂 膜，所述金属掩膜片在金属膜形成有所述开口图案。

7.一种触摸面板的制造方法，其是包括金属膜、绝缘膜以及透明 电极膜的触摸面板的制造方法，

所述触摸面板的制造方法的特征在于，

所述金属膜的图案形成使用具有对形成于对象物面上的配线图案 进行了分割的开口图案的多个第一溅射用掩膜进行多次溅射成膜，并且 合成通过所述多个第一溅射用掩膜分别成膜的图案形成单一的配线图 案，

所述绝缘膜的图案形成通过在所述绝缘膜上使用印刷用掩膜印刷 光致抗蚀剂的图案，将所述光致抗蚀剂的图案作为掩膜进行所述绝缘膜 的湿式蚀刻从而图形化，

所述透明电极膜的形成通过使用具有与应形成的图案对应的开口 图案的第二溅射用掩膜对被图案化的透明电极膜进行溅射成膜。

8.根据权利要求7所述的触摸面板的制造方法，其特征在于，

所述第一溅射用掩膜的开口图案被沿配线的长度方向分割为多个。

9.根据权利要求7或8所述的触摸面板的制造方法，其特征在于，

所述第一以及第二溅射用掩膜、以及印刷用掩膜分别具备具有所述 开口图案的掩膜片与包围该掩膜片的周围并且供该掩膜片张设的框体。

10.根据权利要求9所述的触摸面板的制造方法，其特征在于，

所述掩膜片包括树脂掩膜片、复合型掩膜片以及金属掩膜片中的任 一个，其中，所述树脂掩膜片在树脂膜形成有所述开口图案，所述复合 型掩膜片具有并列配置有狭缝状的多个贯通孔的金属膜、与层叠于该金 属膜的一面并且在所述贯通孔内形成有至少一个所述开口图案的树脂 膜，所述金属掩膜片在金属膜形成有所述开口图案。