[发明专利]带背板的溅射靶材的翘曲矫正方法

说明书

技术领域

本发明涉及带背板的溅射靶材的翘曲矫正方法(以下，有时简记 作“翘曲矫正方法”)，详细而言，涉及能够高效地矫正产生了翘曲 的带背板的溅射靶材(以下，有时记作“带BP的靶材”)的翘曲的翘 曲矫正方法。

背景技术

为了向溅射装置进行安装或冷却正在溅射中的靶材，溅射靶材(以 下，有时简记作“靶材”)有时以安装有背板的状态向溅射装置安装。

在向溅射靶材安装背板时，现状是，多采用如下方式：将溅射靶 材和背板加热到铟会熔融的温度(例如250～300℃左右)，使熔融的铟 介于溅射靶材与背板之间，在该状态下冷却到常温而使铟固化，从而 将溅射靶材与背板接合。

但是，由于溅射靶材与背板之间在热膨胀系数方面存在差异，所 以与冷却相伴的收缩量不同。因此，对于将溅射靶材与背板接合而得 到的带BP的靶材，在将该带BP的靶材冷却到常温的状态下有时会产 生翘曲。

产生翘曲的带BP的靶材难以适当安装于溅射装置，并且有可能无 法适当进行正在溅射中的冷却。

作为用于对此进行应对的技术，存在使翘曲本身不产生的技术(例 如，参照专利文献1、2)、对所产生的翘曲进行矫正的技术(例如， 参照专利文献3、4、5)。

但是，在专利文献1记载的技术中，需要在待接合的溅射靶材和 背板双方的接合面形成可彼此无间隙地嵌合的凹凸，花费工夫。

在专利文献2记载的技术中，需要将接合的区域限制在将靶材部 件的中央的所需部分排除的范围，花费工夫。

在专利文献3记载的技术中，需要在加热到400℃以上且小于钎 料的熔点的温度的状态下进行矫正，花费工夫。

在专利文献4记载的技术中，需要进行抽真空，花费工夫。

在专利文献5记载的技术中，需要断续地对在冷却的同时产生的 翘曲进行测定，施加对每次产生的翘曲进行抵消的反向翘曲，花费工 夫。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-188872号公报

专利文献2：日本特开平6-65727号公报

专利文献3：日本特开平5-214518号公报

专利文献4：日本特开2001-131738号公报

专利文献5：日本特开2001-140064号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明是鉴于该问题点而完成的，其课题在于，提供能够以简易 的方法矫正产生了翘曲的带背板的溅射靶材的翘曲的翘曲矫正方法。

用于解决课题的手段

本发明者为了解决上述问题进行了专心研究开发，其结果，发现 了能够通过以下的带背板的溅射靶材的翘曲矫正方法来解决上述问 题，从而得出了本发明。

即，本发明的带背板的溅射靶材的翘曲矫正方法，减少带背板的 溅射靶材的翘曲，所述带背板的溅射靶材通过以钎料将溅射靶材和背 板接合而成，所述溅射靶材侧翘曲成凸，所述背板侧翘曲成凹，所述 带背板的溅射靶材的翘曲矫正方法的特征在于，包含：配置工序，将 所述带背板的溅射靶材以所述溅射靶材侧位于上方的方式配置于加压 装置的下侧的加压面，并且在所述带背板的溅射靶材的所述背板侧的 外缘部与所述加压装置的所述下侧的加压面之间配置间隔件，所述加 压装置以在上下方向上相对的方式配备有上侧的加压面和所述下侧的 加压面，且能够在上下方向上对配置于该下侧的加压面之上的被加压 物进行加压；和加压工序，在所述配置工序之后，通过所述加压装置 在上下方向上对所述带背板的溅射靶材进行加压，所述溅射靶材是金 属氧化物和碳中的至少一方分散于基体金属中而得到的复合体。

在此，设为在对所述带背板的溅射靶材进行加压时使用压缩用的 夹具的情况下，该夹具也构成所述加压装置的一部分。因此，在使用 夹具的情况下，所述加压装置的“上侧的加压面”为所使用的夹具的 上侧的加压面，所述加压装置的“下侧的加压面”为所使用的夹具的 下侧的加压面。

在所述金属氧化物和所述碳的合计相对于所述溅射靶材整体的体 积分数为10～60vol％时，能够适当地使用所述翘曲矫正方法。

所述背板可以使用无氧铜或铜合金。

另外，也可以是，在所述加压工序中，使施加于所述带背板的溅 射靶材的压力以1个阶段上升到作为目标的压力。