[发明专利]工业用机器人

权利要求书

1.一种工业用机器人，其特征在于，其具有：手；臂，其具有所述手能够旋转地连接于末端侧的末端侧臂部以及所述末端侧臂部的基端侧能够旋转地连接于末端侧的第一臂部；第一关节部，其将所述末端侧臂部与所述第一臂部连接为能够旋转；以及第二关节部，其将所述手与所述末端侧臂部连接为能够旋转，

所述第一关节部具有第一减速机，所述第一减速机具有：第一输入轴，其被输入动力；第一输出轴，其将输入至所述第一输入轴的动力减速并将其输出；以及第一壳体，其将所述第一输入轴以及所述第一输出轴支承为能够旋转，

所述第二关节部具有第二减速机，所述第二减速机具有：第二输入轴，其被输入动力；第二输出轴，其将输入至所述第二输入轴的动力减速并将其输出；以及第二壳体，其将所述第二输入轴以及所述第二输出轴支承为能够旋转，

所述第一壳体以及所述第二壳体固定在所述末端侧臂部侧，

所述手、所述末端侧臂部以及所述第一臂部配置在真空中，

所述末端侧臂部以及所述第一臂部形成为中空状，且所述末端侧臂部的内部以及所述第一臂部的内部成为大气压，

所述第一关节部具有防止空气自所述末端侧臂部与所述第一臂部的连接部分流出至真空中的第一磁性流体密封件，

所述第二关节部具有防止空气自所述手与所述末端侧臂部的连接部分流出至真空中的第二磁性流体密封件，

所述第一磁性流体密封件具有：第一密封壳体，其构成所述第一磁性流体密封件的外周侧部分且固定所述第一壳体；第一内周侧部件，其能够旋转地被保持于所述第一密封壳体的内周侧且固定所述第一输出轴；以及第一轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的所述第一密封壳体与所述第一内周侧部件之间，

所述第二磁性流体密封件具有：第二密封壳体，其构成所述第二磁性流体密封件的外周侧部分且固定所述第二壳体；第二内周侧部件，其能够旋转地被保持于所述第二密封壳体的内周侧且固定所述第二输出轴；以及第二轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的所述第二密封壳体与所述第二内周侧部件之间，

所述第一壳体隔着所述第一密封壳体固定于所述末端侧臂部，

所述第二壳体隔着所述第二密封壳体固定于所述末端侧臂部。

2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

所述第一减速机以及所述第二减速机是在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。

3.根据权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于，

所述工业用机器人具有两个所述手、两个所述末端侧臂部、两个所述第一臂部、固定两个所述第一臂部的基端侧的臂支承部以及以所述臂支承部能够以上下方向作为旋转的轴向进行旋转的方式连接所述臂支承部的主体部。

4.根据权利要求3所述的工业用机器人，其特征在于，

所述手、所述末端侧臂部以及所述第一臂部配置在真空中，

所述末端侧臂部以及所述第一臂部形成为中空状，且所述末端侧臂部的内部以及所述第一臂部的内部成为大气压，

在所述末端侧臂部以及所述第一臂部的内部的上表面形成有散热用的散热片。

5.根据权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于，

所述手、所述末端侧臂部以及所述第一臂部配置在真空中，

所述末端侧臂部以及所述第一臂部形成为中空状，且所述末端侧臂部的内部以及所述第一臂部的内部成为大气压，

在所述末端侧臂部以及所述第一臂部的内部的上表面形成有散热用的散热片。

6.一种工业用机器人，其特征在于，其具有：手；臂，其具有第一臂部、第二臂部以及第三臂部，且所述手能够旋转地连接于末端侧；第一关节部，其将所述第二臂部与所述第一臂部连接为能够旋转；以及第二关节部，其将所述第三臂部与所述第二臂部连接为能够旋转，

所述第三臂部的基端侧能够旋转地连接于所述第二臂部的末端侧，

所述第二臂部的基端侧能够旋转地连接于所述第一臂部的末端侧，

所述第一关节部具有第一减速机，所述第一减速机具有：第一输入轴，其被输入动力；第一输出轴，其将输入至所述第一输入轴的动力减速并将其输出；以及第一壳体，其将所述第一输入轴以及所述第一输出轴支承为能够旋转，

所述第二关节部具有第二减速机，所述第二减速机具有：第二输入轴，其被输入动力；第二输出轴，其将输入至所述第二输入轴的动力减速并将其输出；以及第二壳体，其将所述第二输入轴以及所述第二输出轴支承为能够旋转，

所述第一壳体以及所述第二壳体固定在所述第二臂部侧，

所述手、所述第二臂部以及所述第一臂部配置在真空中，

所述第二臂部以及所述第一臂部形成为中空状，且所述第二臂部的内部以及所述第一臂部的内部成为大气压，

所述第一关节部具有防止空气自所述第二臂部与所述第一臂部的连接部分流出至真空中的第一磁性流体密封件，

所述第二关节部具有防止空气自所述第三臂部与所述第二臂部的连接部分流出至真空中的第二磁性流体密封件，

所述第一磁性流体密封件具有：第一密封壳体，其构成所述第一磁性流体密封件的外周侧部分且固定所述第一壳体；第一内周侧部件，其能够旋转地被保持于所述第一密封壳体的内周侧且固定所述第一输出轴；以及第一轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的所述第一密封壳体与所述第一内周侧部件之间，

所述第二磁性流体密封件具有：第二密封壳体，其构成所述第二磁性流体密封件的外周侧部分且固定所述第二壳体；第二内周侧部件，其能够旋转地被保持于所述第二密封壳体的内周侧且固定所述第二输出轴；以及第二轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的所述第二密封壳体与所述第二内周侧部件之间，

所述第一壳体隔着所述第一密封壳体固定于所述第二臂部，

所述第二壳体隔着所述第二密封壳体固定于所述第二臂部。