[发明专利]工业用机器人

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有手以及由多个臂部构成的臂的工业用机器人。

背景技术

以往，已知一种在真空中搬运玻璃基板等的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具有装载玻璃基板等的手、手能够旋转地连接于末端侧的臂以及将臂的基端侧能够旋转地连接的主体部。臂由彼此能够旋转地连接的第一臂部以及第二臂部构成。手能够旋转地连接于第二臂部的末端侧。第二臂部的基端侧能够旋转地连接于第一臂部的末端侧，第一臂部的基端侧能够旋转地连接于主体部。

在先技术文献

专利文献

专利文献：日本特开2008-6535号公报

发明内容

发明想要解决的课题

在专利文献1所记载的工业用机器人中，为了确保连接手与第二臂部的关节部或连接第二臂部与第一臂部的关节部的刚性，优选在关节部配置减速机。并且，在专利文献1所记载的工业用机器人等工业用机器人中，定期地进行检修。因此，市场上需求能够低成本且容易地进行检修的工业用机器人。

因此，本发明的课题是提供一种工业用机器人，其在关节部配置有减速机，能够低成本且容易地进行检修。

解决课题的方法

为了解决上述课题，本发明所涉及的工业用机器人的特征在于，其具有：手；臂，其具有手能够旋转地连接于末端侧的末端侧臂部以及末端侧臂部的基端侧能够旋转地连接于末端侧的第一臂部；第一关节部，其将末端侧臂部与第一臂部连接为能够旋转；以及第二关节部，其将手与末端侧臂部连接为能够旋转，第一关节部具有第一减速机，所述第一减速机具有：第一输入轴，其被输入动力；第一输出轴，其将输入至第一输入轴的动力减速并将其输出；以及第一壳体，其将第一输入轴以及第一输出轴支承为能够旋转，第二关节部具有第二减速机，所述第二减速机具有：第二输入轴，其被输入动力；第二输出轴，其将输入至第二输入轴的动力减速并将其输出；以及第二壳体，其将第二输入轴以及第二输出轴支承为能够旋转，第一壳体以及第二壳体固定在末端侧臂部侧。

在本发明所涉及的工业用机器人中，构成第一关节部的至少一部分的第一减速机的第一壳体固定在末端侧臂部侧，构成第一减速机的第一输入轴、第一输出轴以及轴承等部件保持于末端侧臂部。并且，在本发明中，构成第二关节部的至少一部分的第二减速机的第二壳体固定在末端侧臂部侧，构成第二减速机的第二输入轴、第二输出轴以及轴承等部件保持于末端侧臂部。因此，在本发明中，在进行工业用机器人的检修时，能够将第一减速机以及第二减速机与末端侧臂部一体地更换。即，在进行工业用机器人的检修时，通过更换配置在比第一臂部靠臂的末端侧的位置的末端侧臂部，即使不更换第一臂部，也能够更换第一减速机以及第二减速机。因此，在本发明中，在关节部配置有减速机的工业用机器人中，能够低成本且容易地进行检修。

在本发明中，第一减速机以及第二减速机是例如在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。

在本发明中，优选手、末端侧臂部以及第一臂部配置在真空中，末端侧臂部以及第一臂部形成为中空状，且末端侧臂部的内部以及第一臂部的内部成为大气压，第一关节部具有防止空气自末端侧臂部与第一臂部的连接部分流出至真空中的第一磁性流体密封件，第二关节部具有防止空气自手与末端侧臂部的连接部分流出至真空中的第二磁性流体密封件，第一磁性流体密封件具有：第一密封壳体，其构成所述第一磁性流体密封件的外周侧部分且固定第一壳体；第一内周侧部件，其能够旋转地被保持于第一密封壳体的内周侧且固定第一输出轴；以及第一轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的第一密封壳体与第一内周侧部件之间，第二磁性流体密封件具有：第二密封壳体，其构成所述第二磁性流体密封件的外周侧部分且固定第二壳体；第二内周侧部件，其能够旋转地被保持于第二密封壳体的内周侧且固定第二输出轴；以及第二轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的第二密封壳体与第二内周侧部件之间，第一壳体隔着第一密封壳体固定于末端侧臂部，第二壳体隔着第二密封壳体固定于末端侧臂部。