[发明专利]含有脂肪族多环结构的自组装膜的下层膜形成用组合物

说明书

本发明提供一种用于形成为了使自组装膜容易排列成期望的垂直图案而需要的下层膜的组合物。所述自组装膜的下层膜形成用组合物包含聚合物，所述聚合物具有在主链含有脂肪族多环化合物的脂肪族多环结构的单元结构。聚合物为具有在主链含有脂肪族多环化合物的脂肪族多环结构、与含芳香环化合物的芳香环结构或源自含乙烯基化合物的乙烯基的聚合链的单元结构的聚合物。聚合物具有下述式(1)：(式(1)中，X为单键、以源自含乙烯基化合物的乙烯基结构为聚合链的2价基团、或以源自含芳香环化合物的含芳香环结构为聚合链的2价基团，Y为以源自脂肪族多环化合物的脂肪族多环结构为聚合链的2价基团。)所示的单元结构。脂肪族多环化合物为2环至6环的二烯化合物。脂肪族多环化合物为二环戊二烯或降冰片二烯。

技术领域

本发明涉及一种液晶显示器、硬盘用记录材料、固体摄像元件、太阳能电池面板、发光二极管、有机发光器件、发光膜、荧光膜、MEMS、致动器、防反射材料、抗蚀剂、抗蚀剂下层膜、抗蚀剂上层膜或纳米压印用模板(模型)等所使用的用于形成通过热烧成而形成的热固化性自组装膜的下层膜的组合物。另外，本发明还涉及一种该热固化性自组装膜与使用该下层膜的自组装膜的形成方法及加工图案的形成方法。

背景技术

具有纳米级重复结构的热固化性自组装膜已知具有与通常的同质膜不同的特性，提出有一种使用嵌段共聚物的具有纳米级重复结构的自组装膜。

关于在非固化性聚苯乙烯/聚(甲基丙烯酸甲酯)共聚物中混合有机光致变色材料的特性已有报告。

关于使用利用非固化性聚苯乙烯/聚(甲基丙烯酸甲酯)共聚物的等离子体蚀刻的纳米构图特性已有报告。

公开有一种使用含有由具有含氟乙烯基单体单元的聚合物链和至少具有甲硅烷基的乙烯基单体单元构成的聚合物链而构成的嵌段聚合物的薄膜用涂布组合物(参照专利文献1)。

公开有一种使构成嵌段聚合物的多个链段规则地排列而在嵌段聚合物层上形成图案的图案形成方法(参照专利文献2)。

进而，公开有一种含有嵌段共聚物、交联剂及有机溶剂的膜形成用组合物。使用该膜形成用组合物的自组装膜为了使嵌段聚合物构图成圆筒形状，可以向下层膜(例如使用有机膜)输入图案信息。为了使图案排列于目标位置，在加工基板上的下层膜(例如使用有机膜)上，与排列位置重叠地照射紫外线或放射线，使该下层膜表面的凹凸、表面能(亲水/疏水性)发生变化，可以使其上所形成的使用了嵌段聚合物的(自组装)膜形成用组合物的聚合物链(A)成分、聚合物链(B)成分分别排列于目标位置(参照专利文献3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-284623

专利文献2：日本特开2009-234114

专利文献3：日本特开2011-122081

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的目的在于，提供一种用于形成在利用嵌段聚合物等形成自组装膜时，为了使自组装膜容易地排列成期望的垂直图案所需的下层膜的组合物。特别是，本发明的目的在于，提供一种用于形成不会与上层的自组装膜引起互混(层混合)，可在自组装膜上形成垂直图案的自组装膜的下层膜的组合物。

用于解决课题的方法

作为本发明的第1观点为一种自组装膜的下层膜形成用组合物，其包含聚合物，所述聚合物具有在主链含有脂肪族多环化合物的脂肪族多环结构的单元结构；

作为第2观点为第1观点所述的下层膜形成用组合物，聚合物为具有在主链含有脂肪族多环化合物的脂肪族多环结构与含芳香环化合物的芳香环结构的单元结构的聚合物；