[发明专利]膜、光学组件、电路板和电子组件的生产方法及组合物有效
申请号: | 201480051516.7 | 申请日: | 2014-09-05 |
公开(公告)号: | CN105659358B | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 伊藤俊树;本间猛;米泽诗织;川崎阳司 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L21/027 | 分类号: | H01L21/027;B29C59/02;B81C1/00;G03F7/20 |
代理公司: | 北京魏启学律师事务所 11398 | 代理人: | 魏启学 |
地址: | 日本东京都大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 组件 电路板 电子 生产 方法 组合 | ||
1.一种膜的生产方法,其包括:
将光固化性组合物配置在基板上的配置步骤;
使所述光固化性组合物和模具彼此接触的模具接触步骤;
用光照射所述光固化性组合物从而形成固化产物的光照射步骤;和
使所述固化产物和所述模具彼此脱离的脱模步骤,
其中所述方法进一步包括在所述光照射步骤之前将所述模具与所述基板彼此对准的对准步骤,
其特征在于,所述光固化性组合物至少包含作为组分A的聚合性化合物和作为组分B的光聚合引发剂,
其中当所述聚合性化合物在0.12mW/cm2的照度和11.0秒的曝光时间的条件下曝光于313±5nm的单一波长的光时,所述聚合性化合物具有50%以上的聚合转化率,
其中所述组分A包含选自丙烯酸苄酯和丙烯酸异冰片酯的至少一种单官能(甲基)丙烯酸系化合物,以及选自新戊二醇二丙烯酸酯、二羟甲基三环癸烷二丙烯酸酯、苯基乙二醇二丙烯酸酯和间苯二亚甲基二丙烯酸酯的至少一种多官能(甲基)丙烯酸系化合物,并且所述组分A的90重量%以上为(甲基)丙烯酸系化合物,
其中,当将所述配置步骤、所述模具接触步骤、所述对准步骤、所述光照射步骤和所述脱模步骤定义为一轮时,在所述基板上依次进行多轮,
其中,在所述光照射步骤中,光对所述光固化性组合物的曝光量是30mJ/cm2以下,和
其中下一轮对于相邻部位进行,并且从在一轮中的光照射步骤的结束到下一轮中的对准步骤的开始所需的时间是1.2秒以下。
2.根据权利要求1所述的膜的生产方法,其中所述光固化性组合物包含作为所述组分B的芳族酮衍生物和氧化膦衍生物的之一。
3.根据权利要求1所述的膜的生产方法,其中所述光固化性组合物包含作为所述组分B的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮。
4.根据权利要求1所述的膜的生产方法,其中所述光固化性组合物包含作为所述组分B的2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦。
5.根据权利要求1所述的膜的生产方法,其中所述光固化性组合物包含作为所述组分B的N,N,N',N'-四乙基-4,4'-二氨基二苯甲酮。
6.根据权利要求1所述的膜的生产方法,其中所述模具接触步骤在包含冷凝性气体的气体的气氛中进行。
7.根据权利要求6所述的膜的生产方法,其中所述冷凝性气体包括1,1,1,3,3-五氟丙烷。
8.根据权利要求6所述的膜的生产方法,其中所述包含冷凝性气体的气体包括1,1,1,3,3-五氟丙烷和氦的混合气体。
9.一种光学组件的生产方法,其特征在于,其包括通过根据权利要求1-8任一项所述的膜的生产方法得到具有预定图案形状的膜。
10.一种光学组件的生产方法,其特征在于,其包括:
通过根据权利要求1-8任一项所述的膜的生产方法得到具有预定图案形状的膜的膜形成步骤;和
通过使用所述膜的图案形状作为掩模对基板进行蚀刻和离子注入之一的基板加工步骤。
11.一种电路板的生产方法,其特征在于,其包括:
通过根据权利要求1-8任一项所述的膜的生产方法得到具有预定图案形状的膜的膜形成步骤;
通过使用所述膜的图案形状作为掩模对基板进行蚀刻和离子注入之一的基板加工步骤;和
在所述基板上形成电子构件的步骤。
12.一种电子组件的生产方法,其特征在于,其包括:
通过根据权利要求11所述的电路板的生产方法得到电路板;和
将所述电路板和用于控制所述电路板的控制机构彼此连接。
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