[发明专利]电子枪装置以及真空蒸镀装置

权利要求书

1.一种电子枪装置，其特征在于，具有第1丝极、第2丝极、电源单元、切换单元与控制部，其中，

所述第1丝极能够产生第1电子束；

所述第2丝极能够产生第2电子束；

所述电源单元具有：加热电流供给部，其供给用于使所述第1丝极和所述第2丝极中的任意一个产生电子束的加热电流；偏压供给部，其向所述加热电流施加偏压；

所述切换单元构成为，能够选择性地切换第1状态和第2状态，所述第1状态为向所述第1丝极供给驱动电流的状态，所述第2状态为向所述第2丝极供给所述驱动电流的状态，其中，所述驱动电流是对所述加热电流施加所述偏压后形成的电流；

所述控制部控制所述第1状态和所述第2状态的切换，

所述控制部对所述加热电流是否正被所述偏压供给部施加所述偏压进行判定，当判定结果为没有施加所述偏压时，所述控制部切换所述第1状态和所述第2状态。

2.根据权利要求1所述的电子枪装置，其特征在于，

所述加热电流供给部具有：

加热电流用电源；

第1加热电流电路，其与所述第1丝极连接，

所述切换单元具有：

第2加热电流电路，其与所述第2丝极连接；

加热电流切换部，其在所述第1状态下连接所述加热电流用电源和第1加热电流电路，在所述第2状态下连接所述加热电流用电源和第2加热电流电路。

3.根据权利要求2所述的电子枪装置，其特征在于，

所述切换单元还具有偏压切换部，所述偏压切换部在所述第1状态下连接所述偏压供给部和所述第1加热电流电路，在所述第2状态下连接所述偏压供给部和所述第2加热电流电路。

4.根据权利要求2所述的电子枪装置，其特征在于，

所述第1加热电流电路包括第1变压部，所述第1变压部能够改变所述加热电流的电压值，

所述第2加热电流电路包括第2变压部，所述第2变压部能够改变所述加热电流的电压值。

5.根据权利要求3所述的电子枪装置，其特征在于，

所述第1加热电流电路包括第1变压部，所述第1变压部能够改变所述加热电流的电压值，

所述第2加热电流电路包括第2变压部，所述第2变压部能够改变所述加热电流的电压值。

6.根据权利要求2所述的电子枪装置，其特征在于，

所述控制部对所述第1加热电流电路和所述第2加热电流电路中的任意一个是否正被供给所述驱动电流进行判定，

当判定结果为所述第1加热电流电路和所述第2加热电流电路这两者均没有被供给所述驱动电流时，所述控制部使所述加热电流用电源停止所述加热电流的供给。

7.根据权利要求3所述的电子枪装置，其特征在于，

所述控制部对所述第1加热电流电路和所述第2加热电流电路中的任意一个是否正被供给所述驱动电流进行判定，

当判定结果为所述第1加热电流电路和所述第2加热电流电路这两者均没有被供给所述驱动电流时，所述控制部使所述加热电流用电源停止所述加热电流的供给。

8.根据权利要求4所述的电子枪装置，其特征在于，

所述控制部对所述第1加热电流电路和所述第2加热电流电路中的任意一个是否正被供给所述驱动电流进行判定，

当判定结果为所述第1加热电流电路和所述第2加热电流电路这两者均没有被供给所述驱动电流时，所述控制部使所述加热电流用电源停止所述加热电流的供给。

9.根据权利要求5所述的电子枪装置，其特征在于，

所述控制部对所述第1加热电流电路和所述第2加热电流电路中的任意一个是否正被供给所述驱动电流进行判定，

当判定结果为所述第1加热电流电路和所述第2加热电流电路这两者均没有被供给所述驱动电流时，所述控制部使所述加热电流用电源停止所述加热电流的供给。