[发明专利]电子枪装置以及真空蒸镀装置

说明书

本发明提供一种能够产生多个电子束且能够简化设备的电子枪装置以及真空蒸镀装置。电子枪装置具有第1丝极、第2丝极、电源单元、切换单元以及控制部。第1和第2丝极能够产生第1和第2电子束。电源单元具有：加热电流供给部，其供给用于使第1丝极或者第2丝极产生电子束的加热电流；偏压供给部，其将偏压施加给加热电流。切换单元构成为，能够选择性地切换第1状态和第2状态，其中，第1状态为向第1丝极供给驱动电流的状态；第2状态为向第2丝极供给驱动电流的状态。控制部控制第1状态和第2状态的切换，其中，驱动电流是对加热电流施加偏压后形成的电流。

技术领域

本发明涉及一种用于真空蒸镀法(真空蒸发镀膜法)等的电子枪装置以及真空蒸镀装置。

背景技术

电子枪装置是通过加热丝极来产生电子束的装置。电子枪装置例如用于真空蒸镀法中的加热蒸发源，其构成为，通过对配置在蒸镀装置内的蒸发材料照射电子束并对其进行加热，能够使该蒸发材料蒸发(例如参照专利文献1～3)。这种电子枪装置典型的是，具有用于加热丝极的加热电流用电源、用于控制电子束的轨道的线圈以及该线圈用的电源等。另外，如专利文献4所示，例如采用2个电子枪装置来进行蒸镀的方法也众所周知。

专利文献1：日本发明专利公开公报特开2013-112894号

专利文献2：日本发明专利公开公报特开2002-97566号

专利文献3：日本发明专利公开公报平1-149955号

专利文献4：日本发明专利公开公报特开2004-55180号

但是，在采用2个电子枪装置对蒸发材料进行交替加热的情况下，在使用一个电子枪装置时，而使另一个电子枪装置停止工作。或者，与该情况相同的是，仅使用2个电子枪装置中的一个电子枪装置。在这些情况下，可能会导致该另一个电子枪装置的加热电流用电源和线圈用的电源等设备过剩，使设备成本上升。

发明内容

鉴于上述情况，本发明的目的在于提供一种能够产生多个电子束且能够简化设备的电子枪装置以及真空蒸镀装置。

为了达成上述目的，本发明的一个技术方案所涉及的电子枪装置具有第1丝极、第2丝极、电源单元、切换单元与控制部。

上述第1丝极能够产生第1电子束。

上述第2丝极能够产生第2电子束。

上述电源单元具有：加热电流供给部，其供给用于使上述第1丝极和上述第2丝极中的任意一个产生电子束的加热电流；偏压供给部，其向上述加热电流施加偏压。

上述切换单元构成为，能够选择性地切换第1状态和第2状态，上述第1状态为向上述第1丝极供给驱动电流的状态，上述第2状态为向上述第2丝极供给上述驱动电流的状态，其中，所述驱动电流是对所述加热电流施加所述偏压后形成的电流。

上述控制部控制上述第1状态和上述第2状态的切换。

附图说明

图1是表示具有本发明的第1实施方式所涉及的电子枪装置的真空蒸镀装置。

图2是上述电子枪装置的电路图。

图3是表示上述电子枪装置的控制部的一个动作例的流程图。

图4是本发明的第1实施方式的比较例所涉及的电子枪装置的电路图。

图5是本发明的第1实施方式的参考例所涉及的真空蒸镀装置的示意图。

图6是本发明的第2实施方式所涉及的电子枪装置的电路图。

图7是表示本发明的电子枪装置的连接部的结构和连接关系的局部电路图。

图8是本发明的第2实施方式的参考例所涉及的电子枪装置的电路图。