[发明专利]功能性膜有效
| 申请号： | 201480055219.X | 申请日： | 2014-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN105764845B | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 伊藤博英 | 申请（专利权）人： | 柯尼卡美能达株式会社 |
| 主分类号： | C01B21/082 | 分类号： | C01B21/082;C01B33/113;C23C16/42;H01B3/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 贾成功 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 功能 | ||
1.一种功能性膜，其含有由下述化学式(1)表示的化学组成，且相对于在IR光谱中观察的1050cm-1附近的来自Si-O的吸收的强度、2200cm-1附近的来自Si-H的吸收的强度之比即I[si-H]/I[si-O]为0.03以下，
SiMwOxNyCx...(1)
式中，M表示选自由长式元素周期表的第13族元素组成的组中的至少1种，w、x、y及z为M、氧、氮及碳各自相对于硅的元素比，满足下述数学式(1)～(4)：
0.01＜w＜1.00…数学式(1)
1.00＜x＜2.50…数学式(2)
0.00≤y＜0.40…数学式(3)
0.01＜z＜1.00…数学式(4)。
2.根据权利要求1所述的功能性膜，其中，所述w、x、y及z满足下述数学式(6)～(9)：
0.03＜w＜0.30…数学式(6)
1.50＜x＜2.20…数学式(7)
0.01≤y＜0.20…数学式(8)
0.04＜z＜0.50…数学式(9)。
3.根据权利要求1或2所述的功能性膜，其中，所述w、x、y及z满足下述数学式(5)：
0.8＜(2x+3y+4z)/(4+3w)＜1.5…数学式(5)。
4.根据权利要求1或2所述的功能性膜，其中，所述M表示选自由硼、铝、镓及铟组成的组中的至少1种。
5.根据权利要求1或2所述的功能性膜，其中，所述M为铝。
6.根据权利要求1或2所述的功能性膜，其为气体阻隔层。
7.一种气体阻隔性膜，其具有基材、及所述基材上的至少1层权利要求6所述的气体阻隔层。
8.一种电子设备，其具有权利要求7所述的气体阻隔性膜。
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