[发明专利]目标处理单元有效
申请号: | 201480061165.8 | 申请日: | 2014-09-08 |
公开(公告)号: | CN105745577B | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | J.J.科宁;D.J.范登伯根 | 申请(专利权)人: | 迈普尔平版印刷IP有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01J37/20;H01J37/317;H01J37/30;H05K7/14;G02B6/36 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 李国华 |
地址: | 荷兰*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 目标 处理 单元 | ||
1.一种目标处理单元,包括:
-投影列,用于生成、成型射束和使射束指向目标,其中所述投影列包括用于使所述射束指向所述目标的投影透镜组件;
-载物架,用于容纳所述投影透镜组件,
其中所述投影透镜组件包括:
-扁平透镜支撑体,用于容纳透镜元件,其中所述透镜支撑体跨过一个平面并且包括连接区域和侧边,并且其中所述透镜支撑体被布置成用于沿着平行于所述平面的插入方向插入到所述载物架中;
-从所述连接区域发出并且被指引成平行于所述平面的多个管线;和
-管线导向体,布置成用于容纳所述管线,
其中所述管线导向体包括:
-第一导向部,其被布置成用于将所述管线从所述连接区域平行于所述平面并且平行于与插入方向垂直的非零方向分量地引导到超过所述侧边的外侧区域;和
-第二导向部,用于将所述管线从所述外侧区域以垂直所述平面的非零方向分量地引导朝向所述管线导向体的倾斜边。
2.如权利要求1所述的目标处理单元,其中所述载物架被设置在所述外侧区域中,所述外侧区域具有开孔,该开孔具有与所述投影透镜组件的所述管线导向体的至少一部分互补的形状。
3.如权利要求1所述的目标处理单元,包括连接器板,其设置有补充连接器,用于连接到所述管线的远端,以建立所述投影透镜组件与设置在所述目标处理单元中的源设备和/或目的设备之间的电和/或流体连通。
4.如权利要求1所述的目标处理单元,其中所述管线被容纳在所述管线导向体内部,并且其中所述管线导向体外部沿着所述插入方向基本上线性对称。
5.如权利要求1所述的目标处理单元,其中所述透镜支撑体、所述第一导向部,和所述管线的被所述透镜支撑体和所述第一导向部容纳的部分被整个以垂直方向限定在第一平面与第二平面之间,所述第一平面平行于所述平面并且所述第二平面平行于所述平面。
6.如权利要求1所述的目标处理单元,其中所述透镜支撑体包括主要为多边形的刚性的支撑板,设置有后缘和两个相对的侧边,这两个相对的侧边均平行于所述插入方向,并且其中所述后缘面向至少部分与所述插入方向相反的方向。
7.如权利要求6所述的目标处理单元,包括沿着所述多边形刚性的支撑板的所述相对的侧边的导向构件,用于将所述透镜支撑体沿着所述插入方向并平行于所述平面定位到所述载物架中。
8.如权利要求1所述的目标处理单元,其中每个管线在管线远端处设置有管线连接器,其中所述管线连接器被布置成用于连接到设置在外侧区域中的所述连接器板上的与所述平面有一段垂直距离的补充连接器。
9.如权利要求3所述的目标处理单元,其中所述连接器板和所述补充连接器被布置在垂直方向,所述垂直方向垂直于所述平面。
10.一种用于使射束指向目标的投影透镜组件,所述投影透镜组件包括:
-扁平透镜支撑体,用于容纳透镜元件,其中所述透镜支撑体跨过平面并包括连接区域和侧边,并且其中所述透镜支撑体被布置成用于沿着插入方向插入目标处理单元的载物架中,所述插入方向平行于所述平面;
-多个管线,从所述连接区域发出并且方向平行于所述平面,以及
-管线导向体,用于容纳所述管线;
其中所述管线导向体包括:
-第一导向部,布置成用于将所述管线从所述连接区域与所述平面平行并且与垂直于所述插入方向的非零方向分量平行地引导到超出所述侧边的外侧区域,以及
-第二导向部,用于将所述管线从所述外侧区域以垂直所述平面的非零方向分量地引导朝向所述管线导向体的倾斜边。
11.如权利要求10所述的投影透镜组件,其中所述管线被容纳在所述管线导向体内部,并且其中所述管线导向体的外部基本上沿着所述插入方向线性对称。
12.如权利要求10所述的投影透镜组件,其中所述管线以局部平行布置被容纳在所述导向体内。
13.如权利要求10所述的投影透镜组件,其中所述透镜支撑体、所述第一导向部和所述管线的被所述透镜支撑体容纳的部分被整个以垂直方向限定在第一平面与第二平面之间,所述第一平面和所述第二平面平行于所述平面。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于迈普尔平版印刷IP有限公司,未经迈普尔平版印刷IP有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201480061165.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:微光刻投射曝光设备的照明系统
- 下一篇:具有导电微丝图形的制品的制备