[发明专利]目标处理单元

说明书

技术领域

本发明通常涉及一种目标处理单元。进一步，本发明涉及一种用在目标处理单元中的投影透镜组件。另一方面涉及一种中间管线组件，涉及目标处理单元的真空腔室，以及包括中间管线组件的目标处理单元。

背景技术

在电子元件的领域中，众所周知的是将多个电子设备部件分组成集成功能模块能够帮助减少更换有缺陷的部件所需的时间，导致用来修理这种模块化设备的停机时间更短。对于生产线中使用的电子设备，模块化部件设计是特别有利的，因为维护时间减少导致了生产率提高。

在带电粒子束处理设备和类似设备中，无法直接实施模块化原则。其主要原因是各种粒子束生成和操作级(例如，束源、准直仪、束分离器、束阻断器、束制动器、束偏转器和透镜元件)合作形成并控制遍历每个级的粒子束。计算机设计者主要解决关于模块之间数据/信号交换、功率需求、电磁兼容性和热管理的问题。在束处理设备中应用模块化原理实质上更加复杂，因为除了上述问题，还需要考虑到束对准问题、场校准和模块之间的机械耦合(解耦和)。此外，由于所有部件一起工作来操纵同一个粒子束，无法直接识别为了获得射束对准高准确率(分离成较少模块)和维护高效率(较多模块)之间的最优平衡而应当形成模块的部件的优选组。

国际专利申请WO2013/037486讨论了射束曝光系统中的载物架中的各种投影模块的定位和平面对准，以从竖直堆叠的模块形成热稳定对准的投影列。

然而，WO2013/037486没有公开投影模块的具体配置，并且没有提供用于向这种投影模块(例如，投影透镜布置)提供信号和流体以及从这种投影模块释放信号和流体的各种管线的连接的解决方案。

发明内容

需要提供一种用于处理目标的投影透镜装置和光刻单元或者检验单元，其允许高效的模块化构造和投影列的维护，同时优化各种管线的连接。

因此，根据第一方面，提供了一种用于使投影射束指向目标的投影透镜组件，该投影组件包括：-扁平透镜支撑体，用于容纳透镜元件，其中，该透镜支撑体跨过一个平面并且包括连接区域和侧边，并且其中，该透镜支撑体被布置成用于沿着平行于该平面的插入方向插入到目标处理单元的载物架中；-从连接区域发出并且方向平行于上述平面的多个管线；-管线导向体，布置成用于容纳管线；其中，管线导向体包括：-第一导向部，其被布置成用于将所述管线从所述连接区域平行于所述平面并且平行于与插入方向垂直的非零方向分量地引导到超过所述侧边的外侧区域，并且其中所述导向体包括：-第二导向部，用于将所述管线从所述外侧区域以垂直所述平面的非零方向分量地引导朝向所述管线导向体的倾斜边。

本文中的术语“投影束”或“射束”是指辐射射束，其可以由带电粒子(例如，电子或离子)流和/或光辐射(例如，X射线或UV辐射)的射束形成。术语“射束”和“小射束”可以互换使用，尽管术语“小射束”可能暗含得到的射束是从较大的主射束(例如，使用具有多个比较小的孔径的掩模板从较大电子射束中提取多个小射束)中提取出来的意思。

本文中使用的术语“管线”具有较宽的含义，并且覆盖具有相对于它们的长度比较小的截面的各种各样的细长管状结构，并且被布置成用于在源设备和目的设备之间传递物质和/或能量。示例性的管线由布线(例如，单线)和电缆(例如，股线，同轴)形成，包括导电材料，用于传递电力和/或控制和/或测量信号，光纤(例如，用于传递光控制和/或测量信号)，以及流体传输管(例如，用于传递冷却流体)。

第一导向部将管线向侧面且平行于平面地引导远离透镜支撑体，朝向位于超过透镜支撑体侧边的外侧区域。第一导向部确保位于透镜支撑体正上方和/或下方的空间保持通畅并且可用于其它投影模块，其它投影模块也可以沿着插入方向线性插入到目标处理单元的载物架中。