[发明专利]工件的两面研磨装置及两面研磨方法

权利要求书

1.一种工件的两面研磨装置，具备旋转平板、恒星齿轮、内齿轮、载体板，前述旋转平板具有上平板及下平板，前述恒星齿轮设置于前述旋转平板的中心部，前述内齿轮设置于前述旋转平板的外周部，前述载体板设在前述上平板与前述下平板之间，具有保持工件的1个以上的保持孔，其特征在于，

还具备滴下供给部、压送供给部，

前述滴下供给部将研磨浆借助自然滴下向前述上下平板间供给，

前述压送供给部将研磨浆借助压送向前述上下平板间供给，

能够从前述滴下供给部及前述压送供给部将研磨浆同时向前述上下平板间供给。

2.如权利要求1所述的工件的两面研磨装置，其特征在于，

前述滴下供给部及前述压送供给部分别具有调整研磨浆的流量的流量调整阀。

3.如权利要求1或2所述的工件的两面研磨装置，其特征在于，

前述滴下供给部及前述压送供给部分别具有浆供给孔。

4.如权利要求1所述的工件的两面研磨装置，其特征在于，

前述压送供给部设在前述恒星齿轮的上方。

5.一种工件的两面研磨方法，将工件保持到设有保持工件的1个以上的保持孔的载体板上，将该工件用由上平板及下平板构成的旋转平板夹入，借助设在前述旋转平板的中心部的恒星齿轮的旋转和设在前述旋转平板的外周部的内齿轮的旋转，使前述旋转平板和前述载体板相对旋转，将前述工件的两面同时研磨，其特征在于，

在将研磨浆借助自然滴下向前述上下平板间供给的同时，将研磨浆借助压送向前述上下平板间供给。

6.如权利要求5所述的工件的两面研磨方法，其特征在于，

借助压送的研磨浆的流量是研磨浆的总流量的5%～50%。

7.如权利要求5或6所述的工件的两面研磨方法，其特征在于，

从前述恒星齿轮的上方将研磨浆借助压送向前述上下平板间供给。