[发明专利]带电粒子束装置用试样架和带电粒子束装置

权利要求书

1.一种试样架，其是插入带电粒子束装置的试样架，

该带电粒子束装置具备：

带电粒子源，其产生向试样照射的带电粒子束；以及

检测器，其检测通过照射该带电粒子束而从上述试样产生的信号，

上述试样架的特征在于，具备：

主体部，其保持上述试样；以及

试样压板部，其可自由装卸地设置在上述主体部，通过将其安装到该主体部来固定该主体部保持的试样，

上述试样压板部具有：

第一孔，其被设置在与上述带电粒子源相对的面上，用于使上述带电粒子束通过；以及

第二孔，其被设置在与上述检测器相对的面上，向上述检测器只导入从上述试样产生的信号中的特定的信号。

2.根据权利要求1所述的试样架，其特征在于，

形成上述第二孔，从而只将从上述试样产生的信号中的向特定的范围的角度行进的信号导入上述检测器。

3.根据权利要求1所述的试样架，其特征在于，

形成上述第二孔，以便从与上述检测器相对的面开始，随着接近配置在该主体部的试样，上述第二孔的直径变小。

4.根据权利要求1所述的试样架，其特征在于，

设置上述第二孔，以便从与上述检测器相对的面开始，随着接近配置在该主体部的试样而形成下坡。

5.根据权利要求1所述的试样架，其特征在于，

上述检测器是检测由于照射该带电粒子束而从上述试样产生的X射线的能量色散型X射线检测器。

6.根据权利要求5所述的试样架，其特征在于，

上述检测器是硅漂移探测器。

7.根据权利要求1所述的试样架，其特征在于，

上述试样压板部具有多个上述第二孔。

8.一种带电粒子束装置，其具备：

试样架，其保持试样；

带电粒子源，其产生向上述试样照射的带电粒子束；以及

检测器，其检测通过照射该带电粒子束而从上述试样产生的信号，

上述带电粒子束装置的特征在于，

上述试样架具备：

主体部，其配置上述试样；

试样压板部，其可自由装卸地设置在上述主体部，通过将其安装到该主体部来固定在该主体部配置的试样，

上述试样压板部具有：

第一孔，其被设置在与上述带电粒子源相对的面上，用于使上述带电粒子束通过；

第二孔，其被设置在与上述检测器相对的面上，向上述检测器只导入从上述试样产生的信号中的特定的信号。

9.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于，

形成上述第二孔，从而只将从上述试样产生的信号中的向特定的范围的角度行进的信号导入上述检测器。

10.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于，

形成上述第二孔，以便从与上述检测器相对的面开始，随着接近配置在该主体部的试样，上述第二孔的直径变小。

11.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于，

设置上述第二孔，以便从与上述检测器相对的面开始，随着接近配置在该主体部的试样而形成下坡。

12.根据权利要求11所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述检测器是检测由于照射该带电粒子束而从上述试样产生的X射线的EDX检测器。

13.根据权利要求12所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述检测器是硅漂移探测器。

14.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述试样压板部具有多个上述第二孔。

15.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于，还具备：

试样架倾斜部，其使上述试样架倾斜；以及

控制部，其控制上述试样架倾斜部，

上述控制部控制上述试样架倾斜部的动作，以便成为该检测器检测的信号的峰/背比为最大的倾斜角度。