[发明专利]搬运方法及搬运装置

说明书

在使吸嘴(51)所吸附的元件(P)朝向目标XY坐标沿XY方向移动之后(S120～S140)，在到达目标XY坐标附近之后计测元件(P)所产生的Y方向的振动的波形(振动波形)(S150、S160)，以在元件(P)的位移(y)横穿计测出的振动波形的波节的定时使元件(P)到达目标Z坐标(值0)的方式控制Z方向的移动(S170～S210)。由此，即便在使元件(P)沿XY方向移动之后，在残存有振动的期间使元件(P)沿Z方向移动而装配在基板(S)上的情况下，也能够进一步减少装配位置偏移。

技术领域

本发明涉及使用前端部能够沿第一方向和第二方向移动的机器人而将保持于所述前端部的对象物向预定的目标位置搬运并载置的搬运方法及搬运装置。

背景技术

长久以来，已知有搬运工件的搬运装置。例如，在专利文献1中公开了一种搬运系统，具备搬运工件的搬运装置、对搬运中的工件进行作业的作业机器人，搬运系统预测在工件搬运中工件所产生的振动模式，基于预测出的振动模式使作业机器人再现工件所产生的振动，由此消除机器人与工件间的振动的影响。

专利文献1：日本特开2014-14894号公报

发明内容

这样，在工件搬运中对工件进行作业的系统虽然能够消除工件(对象物)所产生的振动的影响，但由于工件自身持续振动，因此在想要将工件载置于目标位置的情况下无法适用。

本发明的主要目的在于，将保持于机器人的前端部的对象物向预定的目标位置搬运并载置，进一步提高对象物的载置精度。

本发明为了实现上述的主要目的而采用以下的手段。

本发明的搬运方法中，使用前端部能够沿第一方向和第二方向移动的机器人，将保持于所述前端部的对象物向预定的目标位置搬运并载置，所述搬运方法的主旨在于，作为所述预定的目标位置，取得所述第一方向的目标位置即第一目标位置和所述第二方向的目标位置即第二目标位置，执行如下的第一方向移动控制：以使所述前端部的所述第一方向的位置与所述第一目标位置一致的方式控制所述机器人，在执行所述第一方向移动控制之后，计测或预测所述前端部的所述第一方向的振动波形，执行如下的第二方向移动控制：基于计测或预测出的所述前端部的所述第一方向的振动波形以在振动中的预定定时使所述前端部的所述第二方向的位置与所述第二目标位置一致的方式控制所述机器人来载置所述对象物。

在本发明的搬运方法中，执行以使保持对象物的前端部的第一方向的位置与第一目标位置一致的方式控制机器人的第一方向移动控制，在执行了第一方向移动控制之后，计测或预测前端部的第一方向的振动波形，执行基于该振动波形以在振动中的预定定时使前端部的第二方向的位置与第二目标位置一致的方式控制机器人来载置对象物的第二方向移动控制。由此，能够进一步提高对象物的载置精度。

在这样的本发明的搬运方法中，也可以是，在所述第二方向移动控制中，以作为所述振动中的预定定时在所述前端部的所述第一方向的位移成为所述振动波形的波节的定时使所述前端部的所述第二方向的位置与所述第二目标位置一致的方式控制所述机器人。这样一来，能够将振动中的对象物高精度地载置于目标位置。

另外，在本发明的搬运方法中，作为计测或预测前端部的第一方向的振动波形的方法，可以在所述前端部设置拍摄单元，基于在执行所述第一方向移动控制之后利用所述拍摄单元拍摄多次而得到的多个图像来计测所述前端部的所述第一方向的振动波形，也可以在所述前端部设置加速度传感器，基于由所述加速度传感器检测出的加速度来计测所述前端部的所述第一方向的振动波形，还可以基于在所述第一方向移动控制中控制所述机器人时使用的控制指令信号来预测所述前端部的所述第一方向的振动波形。