[发明专利]搬送装置的控制装置

权利要求书

1.一种搬送装置的控制装置，是形成为对伺服电机进行位置控制同时通过该伺服电机驱动搬送机构的结构的搬送装置的控制装置，其特征在于，具备：

取得作为所述位置控制时电机的位置偏差及流至电机的电流的至少一方的劣化指标参数的值的时间序列的取得器；

将取得的所述劣化指标参数的值的时间序列进行存储的存储器；和

控制器，该控制器在所述劣化指标参数的值超过预先设定的阈值时使所述搬送机构停止，且基于所述劣化指标参数的值的时间序列的变化模式来判定所述劣化指标参数值超过所述阈值是否是因所述搬送机构的老化引起，在判定为所述劣化指标参数值超过所述阈值是因所述搬送机构的老化引起的情况下，使所述搬送机构降低动作速度地动作。

2.根据权利要求1所述的搬送装置的控制装置，其特征在于，

所述控制器在所述劣化指标参数的值超过所述阈值时发出警告信号，在判定为所述劣化指标参数值超过所述阈值并非因所述搬送机构的老化引起的情况下发出出错信号。

3.根据权利要求1或2所述的搬送装置的控制装置，其特征在于，

示出所述搬送机构的老化的所述劣化指标参数的值的时间序列的变化模式，是由基于所述劣化指标参数值的规定时间内的变化量进行判别。

4.根据权利要求1或2所述的搬送装置的控制装置，其特征在于，

控制器进行如下设定：所述劣化指标参数的值超过所述阈值从而所述控制器停止所述搬送机构，且在判定为所述劣化指标参数值超过所述阈值是因所述搬送机构的老化引起的情况下，降低使所述搬送机构复归的动作速度，并且使所述动作速度阶段性地降低。

5.根据权利要求1或2所述的搬送装置的控制装置，其特征在于，

所述搬送装置是在真空环境下使用的多轴机械手。