[发明专利]搬送装置的控制装置

说明书

控制装置（3）具备控制器（33），控制器（33）在劣化指标参数的值超过预先设定的阈值时使搬送机构（5）停止，且基于劣化指标参数的值的时间序列的变化模式，判定劣化指标参数值超过阈值是否是因搬送机构（5）的老化引起，在判定为劣化指标参数值超过阈值是因搬送机构（5）的老化引起的情况下，使搬送机构（5）降低动作速度地动作。

技术领域

本发明涉及搬送装置的控制装置。

背景技术

以往，判断搬送装置的劣化的技术中有如下装置。例如专利文献1中公开了如下驱动机构的劣化检测装置：检测电机的可动元件的位置及驱动源中流动的电流的至少一方，基于相对可动元件的目标位置检测出的位置的变化和检测出的电流的至少一方判断驱动机构的劣化状况。

又，专利文献2中公开了如下基板搬送系统的监视装置：比较对应于目标位置的数据和对应于通过检测单元检测出的可动构件的实际的位置的数据并求得偏差，该偏差超过规定的容许范围的情况下，判断为搬送系统的动作存在异常。

现有技术文献：

专利文献：

专利文献1：特开2005-311259号公报

专利文献2：特开平10-313037号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

但是，以往，搬送装置中检测出异常的情况下，不仅是装置，在使包括周边设备的整个系统一律停止之后，借助人力作业弄清出错的原因并进行修理。因此，即使是因老化导致搬送机构中发生机械及电气故障的情况，若不经人力便无法修复，存在装置的停工时间变长这样的课题。

因此，本发明目的在于缩短搬送机构中发生故障的情况下搬送装置的停工时间。

解决问题的手段：

根据本发明的一种形态，搬送装置的控制装置是形成为对伺服电机进行位置控制同时通过该伺服电机驱动搬送机构的结构的搬送装置的控制装置，具备：

取得作为所述位置控制时电机的位置偏差及流至电机的电流的至少一方的劣化指标参数的值的时间序列的取得器；

将取得的所述劣化指标参数的值的时间序列进行存储的存储器；和

控制器，该控制器在所述劣化指标参数的值超过预先设定的阈值时使所述搬送机构停止，且基于所述劣化指标参数的值的时间序列的变化模式来判定所述劣化指标参数值超过所述阈值是否是因所述搬送机构的老化引起，在判定为所述劣化指标参数值超过所述阈值是因所述搬送机构的老化引起的情况下，使所述搬送机构降低动作速度地动作。在此，电机的位置偏差包括：位置控制时目标值和实际值之间的差（偏差）、偏移（offset）（残留偏差）、从基准位置的脱离量、或失调。

一般而言，伺服电机的位置偏差或电流的值随着时间的经过缓缓上升的情况下，原因在于老化引起的与搬送机构的伺服电机连动的齿轮的阻塞或润滑油的枯竭的可能性较高。另一方面，位置偏差或电流值急剧变化的情况下，原因在于与障碍物的冲突、齿轮破损等驱动系统故障的可能性较高。

根据上述结构，取得作为位置控制时电机的位置偏差及电流的至少一方的、劣化指标参数的值的时序数据并进行存储。借助于此，能够监视搬送装置的自我状态。并且，劣化指标参数的值超过预先设定的阈值时使搬送机构停止。借助于此，能够确保发生机械及电气故障的情况下的安全。并且，基于时序数据的变化模式，判定劣化指标参数值超过阈值是否是因搬送机构的老化引起，在判定为劣化指标参数值超过阈值是因搬送机构的老化引起的情况下，使所述搬送机构降低动作速度地动作。借助于此，即使发生因老化造成的机械及电气故障的情况下也能不介入人力而修复。又，关于降低速度以此能回避的出错，通过自动降低速度使搬送装置动作，使缩短装置的停工时间成为可能。