[其他]面吸附夹具

权利要求书

1.用于吸持和操纵工件(48)的面吸附夹具(10)，具有壳体(12)，在该壳体中设有可被施加真空的真空室，且该壳体(12)在其面对工件(48)的吸附侧(26)上包括具有吸附横截面(44)的吸附口(28)，其中，该吸附侧(26)配设有柔性衬面(36)，该柔性衬面被贴靠到工件(48)上，其特征在于，在壳体(12)的吸附侧(26)与柔性衬面(36)之间插入可更换的薄膜(32)，且该薄膜(32)具有位置上对应于吸附口(28)的流动开口(34)，其中，通过薄膜(32)的流动开口(34)的流动横截面(50)可确定吸附口(28)和流动开口(34)的总流动阻力。

2.根据权利要求1所述的面吸附夹具，其特征在于，吸附口(28)和流动开口(34)相互同轴地放置。

3.根据权利要求1或2所述的面吸附夹具，其特征在于，流动开口(34)具有非圆形的流动横截面(50)。

4.根据权利要求1或2所述的面吸附夹具，其特征在于，吸附口(28)和/或流动开口(34)具有圆形横截面。

5.根据权利要求1或2所述的面吸附夹具，其特征在于，流动横截面(50)的横截面积小于吸附横截面(44)的横截面积。

6.根据权利要求1或2所述的面吸附夹具，其特征在于，在吸附口(28)中布置有气流阀的阀体，且薄膜(32)形成气流阀的、阀座的或调节阀的一部分。

7.根据权利要求6所述的面吸附夹具，其特征在于，所述气流阀的阀体是阀球、滑阀或膜片阀。

8.根据权利要求1或2所述的面吸附夹具，其特征在于，薄膜(32)被粘附地或附着地、机械地或磁性地固紧在壳体(12)上。

9.根据权利要求1或2所述的面吸附夹具，其特征在于，薄膜(32)被构建成两层的或更多层的，且具有功能层(52)和固定层(54)。

10.根据权利要求9所述的面吸附夹具，其特征在于，固定层(54)具有对应于流动开口(34)的缺口(56)，流动开口(34)位于其净内开口中。

11.根据权利要求9所述的面吸附夹具，其特征在于，功能层(52)由透气材料构成。

12.根据权利要求10所述的面吸附夹具，其特征在于，功能层(52)由透气材料构成。

13.根据权利要求11或12所述的面吸附夹具，其特征在于，所述透气材料是开放多孔或开孔式的泡沫塑料。

14.根据权利要求13所述的面吸附夹具，其特征在于，所述开放多孔或开孔式的泡沫塑料是聚氨酯。

15.根据权利要求11或12所述的面吸附夹具，其特征在于，固定层(54)具有缺口(56)，然而功能层(52)没有离散的开口。

16.根据权利要求1或2所述的面吸附夹具，其特征在于，薄膜(32)具有流动开口(34)，弹性舌位于其流动横截面中。

17.根据权利要求16所述的面吸附夹具，其特征在于，舌作为用于吸附口(28)的阀板。

18.根据权利要求1或2所述的面吸附夹具，其特征在于，薄膜(32)完全或薄膜的至少一个层(52)由金属、CFK、陶瓷或塑料构成。

19.根据权利要求1或2所述的面吸附夹具，其特征在于，薄膜(32)被设计为具有位置辅助件的快速更换薄膜。