[发明专利]标记检测方法

权利要求书

1.一种标记检测方法，所述标记检测方法是使用加工装置进行的晶片的标记检测方法，所述加工装置具备：保持工作台，其以面积比圆板状的晶片小的抽吸保持面来对晶片的中央进行抽吸保持，所述晶片在外周具有表示晶体取向的标记；旋转构件，其使所述保持工作台以该保持工作台的中心为轴，并且以高速和低速至少两个阶段的速度旋转；角度指定部，其指定通过该旋转构件旋转的该保持工作台的旋转角度；角度检测部，其检测通过该旋转构件旋转的该保持工作台的旋转角度；摄像构件，其通过该旋转构件使该保持工作台旋转并对晶片的外周进行摄像；坐标存储部，其存储该摄像构件在该角度检测部检测出的旋转角度处拍摄的晶片的外周的指定位置的坐标；和抽吸保持位置变更构件，其变更由该保持工作台抽吸保持的晶片的抽吸保持位置，其中，

所述标记检测方法包括：

外周坐标存储工序，在该外周坐标存储工序中，通过该旋转构件以该角度指定部所指定的角度使该保持工作台高速地进行分度旋转，并且，该坐标存储部存储由该摄像构件对晶片的外周进行摄像所得到的晶片的外周的至少3个部位的坐标；

中心计算工序，在该中心计算工序中，使用在该外周坐标存储工序中存储的至少3个部位的坐标来计算晶片的中心；

晶片定心工序，在该晶片定心工序中，使用该抽吸保持位置变更构件使在该中心计算工序中计算出的晶片的中心与预先存储的该保持工作台的中心一致；和

标记检测工序，在该标记检测工序中，使用由该摄像构件拍摄而得的摄像图像中拍摄了晶片外周的限定的像素，通过该旋转构件使抽吸保持着在该晶片定心工序中被定心后的晶片的该保持工作台以比该外周坐标存储工序低的速度连续旋转，对晶片的整个外周进行摄像而检测出该标记所处的角度。

2.根据权利要求1所述的标记检测方法，其中，

该中心计算工序包括：

第1计算工序，在该第1计算工序中，使该保持工作台以该角度指定部所指定的角度进行分度旋转，并根据通过该摄像构件对晶片的外周的3个部位进行摄像所得到的摄像图像计算出晶片的中心坐标；

第2计算工序，在该第2计算工序中，从使用过一次的该3个部位的摄像图像中将至少1个部位替换为不同的摄像图像，并利用与使用过一次的该3个部位的摄像图像不同的组合的3个部位的摄像图像来计算晶片的中心坐标；和

判断工序，在该判断工序中，将在该第1计算工序中计算出的中心坐标与在该第2计算工序中计算出的中心坐标相比较，在2个计算出的中心坐标一致时，判断为中心坐标已被算出，

其中，

重复执行第2计算工序，使用至少4个摄像图像来计算晶片的中心，直至在该判断工序中判断为中心坐标已被算出。

3.根据权利要求1或2所述的标记检测方法，其中，

该抽吸保持位置变更构件至少具备：载置工作台，其载置晶片的不与该保持工作台的进行抽吸保持的该抽吸保持面接触的外周区域；升降构件，其使该载置工作台和该保持工作台相对地上下移动；和移动构件，其使该载置工作台和该保持工作台相对地水平移动，

在利用该抽吸保持位置变更构件实现的晶片定心工序中，通过下述工序来进行晶片的调换：

载置工序，在该载置工序中，通过该升降构件将该载置工作台的上表面定位于比该保持工作台的抽吸保持面高的位置，将晶片载置于该载置工作台上；

移动工序，在该载置工序后，在该移动工序中利用该移动构件使该保持工作台移动；和

保持工序，在该移动工序后，在该保持工序中利用该升降构件将该载置工作台的上表面定位在比该保持工作台的抽吸保持面低的位置，并利用该保持工作台抽吸保持晶片。