[发明专利]标记检测方法

说明书

本发明提供一种标记检测方法，其能够在短时间内高精度地检测出表示晶片的晶体取向的标记。标记检测方法是从保持于保持工作台(5)上的晶片(W)的外周检测凹口(N)的方法，构成为，使保持工作台进行分度旋转，对晶片的外周的至少3个部位摄像并检测出晶片的外周的3个点的坐标，根据3个点的坐标计算出晶片的中心并实施晶片相对于保持工作台的定心，一边使保持工作台连续地旋转一周，一边使用与晶片的外周相对应的一部分摄像区域对晶片的外周在整周的范围内摄像，检测出凹口所位于的角度。

技术领域

本发明涉及检测半导体晶片的外周的表示晶体取向的标记的标记检测方法，特别是涉及检测450mm大口径尺寸的晶片的标记的标记检测方法。

背景技术

通常，在晶片的外周形成有表示晶体取向的标记，在切削装置等中，考虑由标记表示的晶体取向来决定加工方向。以往，作为这种标记检测方法，已知一边对晶片的外周进行摄像一边同时检测晶片的中心和表示晶体取向的标记的方法(例如，参照专利文献1)。在专利文献1所述的标记检测方法中，利用摄像装置对保持工作台上的晶片的外周在整周的范围内进行摄像。然后，根据拍摄到的晶片的外周计算出晶片的中心，进而根据外周位置的变化检测出标记。

专利文献1：日本特开2011-40637号公报

在专利文献1所述的标记检测方法中，能够在晶片旋转一周的期间检测出晶片的中心的偏移量和标记。可是，必须考虑晶片的中心相对于保持工作台的中心的位置偏移并较广地设定摄像区域，从而导致像素变粗而无法得到充分的检测精度。虽然可以通过增加像素数量来提高检测精度，但是，由于数据容量变大，因此存在数据的读入会耗费时间这样的问题。因此，必须对应于数据的读入速度使保持工作台的旋转变慢，从而存在标记的检测需要较长时间这样的问题。

发明内容

本发明是鉴于这样的问题而完成的，目的在于提供一种能够在短时间内高精度地检测出表示晶片的晶体取向的标记的标记检测方法。

本发明的标记检测方法是使用加工装置进行的晶片的标记检测方法，所述加工装置具备：保持工作台，其以面积比圆板状的晶片小的抽吸保持面来对晶片的中央进行抽吸保持，所述晶片在外周具有表示晶体取向的标记；旋转构件，其使所述保持工作台以该保持工作台的中心为轴，并且以高速和低速至少两个阶段的速度旋转；角度指定部，其指定通过该旋转构件旋转的该保持工作台的旋转角度；角度检测部，其检测通过该旋转构件旋转的该保持工作台的旋转角度；摄像构件，其通过该旋转构件使该保持工作台旋转并对晶片的外周进行摄像；坐标存储部，其存储该摄像构件在该角度检测部检测出的旋转角度处拍摄的晶片的外周的指定位置的坐标；和抽吸保持位置变更构件，其变更由该保持工作台抽吸保持的晶片的抽吸保持位置，其中，所述标记检测方法包括：外周坐标存储工序，在该外周坐标存储工序中，通过该旋转构件以该角度指定部所指定的角度使该保持工作台高速地进行分度旋转，并且，该坐标存储部存储由该摄像构件对晶片的外周进行摄像所得到的晶片的外周的至少3个部位的坐标；中心计算工序，在该中心计算工序中，使用在该外周坐标存储工序中存储的至少3个部位的坐标来计算晶片的中心；晶片定心工序，在该晶片定心工序中，使用该抽吸保持位置变更构件使在该中心计算工序中计算出的晶片的中心与预先存储的该保持工作台的中心一致；和标记检测工序，在该标记检测工序中，使用限定的像素，通过该旋转构件使该保持工作台以比该外周坐标存储工序低的速度连续旋转，对晶片的整个外周进行摄像而检测出该标记所处的角度，其中，所述限定的像素是在通过该摄像构件对抽吸保持着在该晶片定心工序中被定心后的晶片的该保持工作台进行拍摄而得的摄像图像中，拍摄了晶片外周的像素。