[发明专利]导引机构及其制程设备

权利要求书

1.一种导引机构，用以在一制程设备中导引至少一板件沿一输送方向移动，其中该板件具有相对应的一第一表面与一第二表面，其特征在于，该导引机构包含：

复数个输送滚轮，分别沿该输送方向依序排列，用以接触该板件的该第一表面；

复数个导引压轮，分别沿该输送方向依序排列，用以接触该板件的该第二表面，每一导引压轮具有一轮轴与数个轴套，该轴套凸设于该轮轴上，用以接触该板件的该第二表面，其中该轴套的硬度值介于C硬度值(C-Hardness)7至11，该轴套的摩擦系数介于0.3至0.5，且该轴套的硬度低于或等于该输送滚轮的硬度；

其中，该输送滚轮与该导引压轮用以夹置该板件，并通过该输送滚轮与该导引压轮的转动，导引该板件沿该输送方向移动;

其中每一输送滚轮具有复数个凸块，该凸块沿该输送滚轮的轴向依序分别设置在该输送滚轮上;

其中该轮轴与该轴套之间设有一环状沟槽或一环状凸缘，用以使该轴套定位于该轮轴上;

其中每一导引压轮具有数个该轴套，且该轴套沿该轮轴的轴向依序分别设置在该轮轴上；

其中每一输送滚轮具有复数个凸块，且该轴套与该凸块呈现相互间隔交错。

2.如权利要求1所述的导引机构，其特征在于，其中每一输送滚轮具有一输送轮轴与至少一输送轴套，该输送轴套的硬度值介于C硬度值(C-Hardness)7至11，该输送轴套的摩擦系数介于0.3至0.5。

3.如权利要求2所述的导引机构，其特征在于，其中该输送轴套沿着该输送轮轴的轴向延伸，并套设于该输送轮轴的外表面。

4.如权利要求2所述的导引机构，其特征在于，其中该输送轴套的内、外径间的距离大于或等于该板件的厚度加2mm之和。

5.如权利要求1所述的导引机构，其特征在于，其中该轴套间相互连接而形成一体。

6.如权利要求1所述的导引机构，其特征在于，其中该轴套的平均气孔径介于15μm至30μm。

7.如权利要求1所述的导引机构，其特征在于，其中该轴套的宽度大于或等于该轴套内、外径间的厚度。

8.如权利要求1所述的导引机构，其特征在于，其中该轴套内、外径间的距离大于或等于该板件的厚度加2mm之和。

9.一种制程设备，用以沿一输送方向输送至少一板件，其中该板件具有相对应的一第一表面与一第二表面，其特征在于，该制程设备包括：

一基座；以及

一导引机构，设于该基座上，该导引机构包含复数个输送滚轮与复数个导引压轮：

该输送滚轮分别沿该输送方向依序排列，用以接触该板件的该第一表面；

该导引压轮分别沿该输送方向依序排列，用以接触该板件的该第二表面，该第二表面相对于该第一表面，每一导引压轮具有一轮轴与数个轴套，该轴套凸设于该轮轴上，用以接触该板件的该第二表面，其中该轴套的硬度值介于C硬度值(C-Hardness)7至11，该轴套的摩擦系数介于0.3至0.5，且该轴套的硬度低于或等于该输送滚轮的硬度；

其中，该输送滚轮与该导引压轮用以夹置该板件，并通过该输送滚轮与该导引压轮的转动，导引该板件沿该输送方向移动；

其中每一输送滚轮具有复数个凸块，该凸块沿该输送滚轮的轴向依序分别设置在该输送滚轮上;

其中该轮轴与该轴套之间设有一环状沟槽或一环状凸缘，用以使该轴套定位于该轮轴上;

其中每一导引压轮具有数个该轴套，且该轴套沿该轮轴的轴向依序分别设置在该轮轴上；

其中每一输送滚轮具有复数个凸块，且该轴套与该凸块呈现相互间隔交错。

10.如权利要求9所述的制程设备，其特征在于，其中该基座具有二个间隔相对的隔板，该导引机构的输送滚轮与导引压轮即枢设于二个该隔板之间。

11.如权利要求9所述的制程设备，其特征在于，其包括一动力源，该动力源驱动该导引压轮且/或该输送滚轮转动。