[发明专利]导引机构及其制程设备

说明书

本发明为一种导引机构及其制程设备，用以输送一板件，导引机构包含复数输送滚轮与复数导引压轮，每一导引压轮具有一轮轴与至少一轴套，轴套凸设于轮轴上，用以与板件接触，其中轴套的硬度值介于C硬度值(C‑Hardness)7至11，轴套的摩擦系数介于0.3至0.5，且轴套的硬度低于或等于输送滚轮的硬度。以此，输送滚轮与导引压轮用以夹置板件，并通过输送滚轮与导引压轮的转动，导引板件沿一输送方向移动。

技术领域

本发明关于一种导引机构及其制程设备，特别是导引板件沿输送方向移动。

背景技术

一般的LCD玻璃基板、印刷电路板、太阳能基板等板件在进行化学制程时，都必须利用板件输送机将板件输送进入机体内，以配合化学药水进行冲洗。为了确保板件输送的平稳与不偏位，化学制程的机体内部均设有用来引导板件的导引装置。所述导引装置的形态有多种。其中一种是将板件输送机设计成倾斜状态，并在板件输送机的低端设置系列边导轮，如中国台湾专利M327082「板件输送机的边导轮」。在上述板件输送机中，板件被放置于倾斜的板件输送机上的复数输送滚轮上，而后受动力驱动旋转的输送滚轮将板件输送平移时，板件通过重力作用会自然地下滑至倾斜板件输送机的低端，并靠置于边导轮。边导轮为可自由旋转的设计，以导引板件沿着输送方向移动。另一种导引装置则在板件输送机的输送方向两侧分别设置一导边板，同样可导引板件沿着输送方向移动。

然而，当板件输送机输送不同宽度的板件时，则上述板件输送机两侧的导边轮或导边板需被一一精密调整位置以符合板件的宽度。如此，板件输送机中导边轮或导边板的位置调整工作，将耗用人力成本与时间成本，并延迟板件制程而降低板件的整体生产效率。

发明内容

本发明的主要目的，在于提供一种导引机构及其制程设备。

本发明的另一目的在于提供一种制程设备。

为了达到上述目的，本发明提供了一种导引机构，用以在一制程设备中导引至少一板件沿一输送方向移动，其中该板件具有相对应的一第一表面与一第二表面，该导引机构包含：

复数个输送滚轮，分别沿该输送方向依序排列，用以接触该板件的该第一表面；

复数个导引压轮，分别沿该输送方向依序排列，用以接触该板件的该第二表面，每一导引压轮具有一轮轴与至少一轴套，该轴套凸设于该轮轴上，用以接触该板件的该第二表面，其中该轴套的硬度值介于C硬度值(C-Hardness)7至11，该轴套的摩擦系数介于0.3至0.5，且该轴套的硬度低于或等于该输送滚轮的硬度；

其中，该输送滚轮与该导引压轮用以夹置该板件，并通过该输送滚轮与该导引压轮的转动，导引该板件沿该输送方向移动。

进一步地，其中每一输送滚轮具有复数个凸块，该凸块沿该输送滚轮的轴向依序分别设置在该输送滚轮上。

进一步地，其中每一输送滚轮具有一输送轮轴与至少一输送轴套，该输送轴套的硬度值介于C硬度值(C-Hardness)7至11，该输送轴套的摩擦系数介于0.3至0.5。

进一步地，其中该输送轴套沿着该输送轮轴的轴向延伸，并套设于该输送轮轴的外表面。

进一步地，其中该输送轴套的内、外径间的距离大于或等于该板件的厚度加2mm之和。

进一步地，其中该轮轴与该轴套之间设有一环状沟槽或一环状凸缘，用以使该轴套定位于该轮轴上。

进一步地，其中每一导引压轮具有复数个该轴套，且该轴套沿该轮轴的轴向依序分别设置在该轮轴上。

进一步地，其中该轴套间相互连接而形成一体。

进一步地，其中每一输送滚轮具有复数个凸块，且该轴套与该凸块呈现相对或相互间隔交错。

进一步地，其中该轴套的平均气孔径介于15μm至30μm。