[发明专利]自冷式移动式镀膜承载盘

权利要求书

1.一种自冷式移动式镀膜承载盘，其特征在于其包含：

一载盘单元，内部形成有一密闭空间，该载盘单元包括一基座、一封板及多个锁固件，该基座具有一基壁与一围绕该基壁的一周缘以定义出一凹槽的围壁，该封板盖设于该围壁的一表面以封闭该凹槽并定义出该密闭空间，该基座的基壁具有多个自该基壁的一表面朝该封板凸伸而出的凸柱，每一凸柱具有一锁固孔，所述锁固件是贯穿该封板，以分别对应锁固于所述锁固孔，使该封板与该基座结合；及

一相变化物质，填置于该载盘单元的密闭空间中；

其中，该相变化物质能自该载盘单元吸收一热能，以作为至少部分的该相变化物质自一固态熔融成一液态时所需的潜热，且该相变化物质的熔点为介于18℃至95℃间。

2.如权利要求1所述的自冷式移动式镀膜承载盘，其特征在于：该相变化物质是选自一有机类材料与一无机类材料其中一者。

3.如权利要求2所述的自冷式移动式镀膜承载盘，其特征在于：该有机类材料是一烃类，且该烃类是选自C₁₆至C₅₀的一烷类。

4.如权利要求2所述的自冷式移动式镀膜承载盘，其特征在于：该无机类材料是选自一含有一结晶水合盐的组成物，或一熔解盐。

5.如权利要求1所述的自冷式移动式镀膜承载盘，其特征在于：该载盘单元的密闭空间需大于或等于该相变化物质于该液态时所占有的体积。

6.如权利要求1所述的自冷式移动式镀膜承载盘，其特征在于：该相变化物质于该固态时是占有该密闭空间的80％至90％。

7.如权利要求1所述的自冷式移动式镀膜承载盘，其特征在于：该载盘单元还包括一第一密封环，该围壁的表面形成有一第一环形止漏槽，该封板盖设于该围壁的表面时，将该第一密封环夹制于该第一环形止漏槽内。

8.如权利要求7所述的自冷式移动式镀膜承载盘，其特征在于：该载盘单元还包括多个第二密封环，每一凸柱还具有一围绕该锁固孔的第二环形止漏槽，且该封板将所述第二密封环分别对应夹制于所述第二环形止漏槽内。

9.如权利要求8所述的自冷式移动式镀膜承载盘，其特征在于：该基座还具有一背向该基座的表面的承载面，且该承载面自其两相反侧缘背向该基座的表面凸伸出有两个限位条。