[发明专利]一种石墨烯/氮化硼/氧化锌紫外探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种石墨烯/氮化硼/氧化锌紫外探测器，其特征在于自下而上依次有背面电极（1）、氧化锌层（2）、氮化硼层（3）、石墨烯层（4）和正面电极（5），所述的氮化硼层（3）中的氮化硼为1-20层。

2.根据权利要求1所述的石墨烯/氮化硼/氧化锌紫外探测器，其特征在于所述的氧化锌层（2）为p型或者n型掺杂的氧化锌。

3.根据权利要求1所述的石墨烯/氮化硼/氧化锌紫外探测器，其特征在于所述的石墨烯层（4）中的石墨烯为1-10层。

4.根据权利要求1所述的石墨烯/氮化硼/氧化锌紫外探测器，其特征在于所述的背面电极（1）是金、钯、银、钛、铬和镍中的一种或者几种的复合电极。

5.根据权利要求1所述的石墨烯/氮化硼/氧化锌紫外探测器，其特征在于所述的正面电极（5）是金、钯、银、钛、铬和镍中的一种或者几种的复合电极。

6.制备权利要求1-5任一项所述的石墨烯/氮化硼/氧化锌紫外探测器的方法，其特征在于包括如下步骤：

1）在洁净的n型或p型掺杂氧化锌的一面制作背面电极；

2）将原子层为1-20层的氮化硼转移至上述洁净的n型或p型掺杂氧化锌的另一面上；

3）将原子层数为1-10层的石墨烯转移至步骤2）所得的氮化硼层上；

4）在上述石墨烯层上制作正面电极。