[发明专利]阵列基板及其制备方法和显示装置有效
申请号: | 201510042443.1 | 申请日: | 2015-01-28 |
公开(公告)号: | CN104656332B | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 武丽娟;王征;董倩 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1368;H01L23/50 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201201 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 及其 制备 方法 显示装置 | ||
1.一种阵列基板,包括衬底;所述衬底上设置有多条栅极线、多条数据线和多条第一信号线,所述栅极线和所述数据线彼此绝缘交叉限定出多个像素单元;所述像素单元包括像素开关、像素电极和公共电极,所述像素开关包括第一极、第二极和暴露部分所述第一极的第一通孔,所述第一通孔内设置有第一保护层,所述像素电极通过所述第一保护层与所述第一极电连接;所述公共电极上设置有暴露部分所述公共电极第二通孔,所述第一信号线通过所述第二通孔与所述公共电极电连接,其中,所述第一信号线与所述第一保护层位于同层;
所述第一通孔和所述像素电极设置于所述第一极远离所述衬底的一侧;所述第一信号线设置于所述公共电极远离所述衬底的一侧;
所述像素电极与所述第一保护层和所述第一信号线所在的导电层同层制作。
2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,在所述第一通孔内所述像素电极覆盖在所述第一保护层上方。
3.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述像素开关还包括依次设置在所述衬底上的栅极、栅极绝缘层和有源层,所述像素开关的第一极、第二极设置在所述有源层上。
4.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述像素开关还包括依次设置在所述衬底上的有源层、第一绝缘层、栅极、栅极绝缘层,所述像素开关的第一极、第二极设置在所述栅极绝缘层上,所述第一绝缘层和栅极绝缘层上设置有第三通孔和第四通孔,所述第一极通过所述第三通孔与所述有源层电连接,所述第二极通过所述第四通孔与所述有源层电连接。
5.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述公共电极层复用为触控电极层,所述第一信号线给所述公共电极层提供触摸信号。
6.一种阵列基板的制备方法,包括提供一衬底,在所述衬底上形成像素开关,所述像素开关包括第一极和第二极;
在形成有所述像素开关的衬底上形成第二绝缘层;
在所述第二绝缘层上形成公共电极;
在所述公共电极上形成第三绝缘层;
在所述第二绝缘层和第三绝缘层上形成第一通孔,在所述第三绝缘层上形成第二通孔,所述第一通孔暴露部分所述第一极,所述第二通孔暴露部分所述公共电极;
在形成有所述第一通孔和第二通孔的第三绝缘层上形成第一信号线和第一保护层,所述第一保护层形成于所述第一通孔内;
在形成有所述第一保护层和第一信号线的所述第三绝缘层上形成像素电极;所述第一信号线通过所述第二通孔与所述公共电极电连接,所述像素电极通过所述第一保护层与所述第一极电连接;所述像素电极与所述第一保护层和所述第一信号线所在的导电层同层制作。
7.根据权利要求6所述的阵列基板的制备方法,其特征在于,在所述第一通孔内所述像素电极形成在所述第一保护层上方。
8.根据权利要求6所述的阵列基板的制备方法,其特征在于,所述在所述衬底上形成像素开关步骤包括:在所述衬底上形成栅极;在所述栅极上覆盖栅极绝缘层;在所述栅极绝缘层上形成有源层;所述像素开关的第一极、第二极设置在所述有源层上。
9.根据权利要求6所述的阵列基板的制备方法,其特征在于,所述在所述衬底上形成像素开关步骤包括;在所述衬底上形成有源层;在所述有源层上覆盖第一绝缘层;在所述第一绝缘层上形成栅极;形成栅极绝缘层覆盖所述栅极;在所述第一绝缘层和栅极绝缘层上形成第三通孔和第四通孔;在所述栅极绝缘层上形成所述像素开关的第一极、第二极,所述第一极通过所述第三通孔与所述有源层电连接,所述第二极通过所述第四通孔与所述有源层电连接。
10.一种显示装置,包括如权利要求1-5任一项所述的阵列基板。
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