[发明专利]阵列基板及其制备方法和显示装置有效
申请号: | 201510042443.1 | 申请日: | 2015-01-28 |
公开(公告)号: | CN104656332B | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 武丽娟;王征;董倩 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1368;H01L23/50 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201201 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 及其 制备 方法 显示装置 | ||
本发明公开了一种阵列基板及其制备方法,以及包括该阵列基板的显示装置;在像素开关中设置暴露部分第一极的第一通孔,所述第一通孔内设置有第一保护层,所述像素电极通过所述第一保护层与所述第一极电连接;该第一保护层与第一信号线为同层金属层,第一信号线给公共电极提供电信号,这种结构设计能够有效的防止第一通孔内漏极金属会被过刻,从而防止漏极上层的像素电极断线,进而提高显示装置的显示效果;并且采用在形成有所述第一通孔和第二通孔的第三绝缘层上形成第一信号线和第一保护层的制备方法,其中所述第一保护层形成于所述第一通孔内;并且该制备方法操作简单。
技术领域
本发明涉及平板显示技术,特别涉及一种阵列基板及其制备方法,以及包括该阵列基板的显示装置。
背景技术
显示面板目前被广泛的应用于手机、掌上电脑(Personal Digital Assistant,PDA)等便携式电子产品中,例如:薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-LiquidCrystal Display,TFT-LCD)、有机发光二级管显示器(Organic Light Emitting Diode,OLED)、低温多晶硅(Low Temperature Poly-silicon,LTPS)显示器以及等离子体显示器(Plasma Display Panel,PDP)等。在市场竞争的推动下,更轻便、显示效果更优越、价格更低的显示装置受到了越来越多的追捧。
近年来,薄的显示装置越来越受到消费者的追捧,目前有很多种方法来制备薄的显示装置,其中将触控电极制作在液晶盒内的方法尤为常见,通常将触控电极做在显示装置的TFT基板上,时,需要在TFT基板上制作屏蔽电极,而屏蔽电极在进行刻蚀的时候,会对像素电极与薄膜晶体管的漏极电连接的接触孔内的涂布的屏蔽电极进行过刻蚀,在刻蚀过程中,接触孔内漏极金属会被过刻,形成倒锥体(Taper)结构,导致漏极上层像素电极断线,从而影响显示装置的显示效果。
发明内容
有鉴于此,本发明实施例提供一种阵列基板,包括衬底;所述衬底上设置有多条栅极线、多条数据线和多条第一信号线,所述栅极线和所述数据线彼此绝缘交叉限定出多个像素单元;所述像素单元包括像素开关、像素电极和公共电极,所述像素开关包括第一极、第二极和暴露部分所述第一极的第一通孔,所述第一通孔内设置有第一保护层,所述像素电极通过所述第一保护层与所述第一极电连接;所述公共电极上设置有暴露部分所述公共电极第二通孔,所述第一信号线通过所述第二通孔与所述公共电极电连接,其中,所述第一信号线与所述第一保护层位于同层。
本发明实施例还提供一种阵列基板的制备方法,包括提供一衬底,在所述衬底上形成像素开关,所述像素开关包括第一极和第二极;
在形成有所述像素开关的衬底上形成第二绝缘层;
在所述第二绝缘层上形成公共电极;
在所述公共电极上形成第三绝缘层;
在所述第二绝缘层和第三绝缘层上形成第一通孔和第二通孔,所述第一通孔暴露部分所述第一极,所述第二通孔暴露部分所述公共电极;
在形成有所述第一通孔和第二通孔的第三绝缘层上形成第一信号线和第一保护层,所述第一保护层形成于所述第一通孔内;
在形成有所述第一保护层和第一信号线的所述第三绝缘层上形成像素电极;所述第一信号线通过所述第二通孔与所述公共电极电连接,所述像素电极通过所述第一保护层与所述第一极电连接。
本发明实施例还提供一种显示装置,包括如上所述的阵列基板。
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