[发明专利]一种组合式硅片片盒装置

权利要求书

1.一种组合式硅片片盒装置，用于存储硅片，其特征在于，包括片盒本体以及若干个片匣；

所述片盒本体用于容纳若干个片匣，其包括片盒门、插槽以及凸起，所述片盒门设于所述片盒本体的侧面，用于封闭所述片盒本体，所述插槽设于所述片盒本体的内腔，用于供所述片匣插入，所述凸起设在所述插槽的端部，用于与所述片匣的锁扣相配合，以固定所述片匣在所述片盒本体内的位置；

所述片匣用于容纳单枚硅片，其包括片匣小门以及锁扣，所述片匣小门设于所述片匣的侧面，用于封闭所述片匣，所述锁扣可控制所述片匣小门的开闭状态；所述片匣小门与所述片匣为转轴连接，所述片匣小门上还具有弹性件；其中，当所述片匣的锁扣锁定所述片盒本体的凸起时，所述片匣小门在所述弹性件弹力的作用下打开片匣小门；

其中，当取出单个所述片匣时，所述片匣的锁扣脱离所述片盒本体的凸起，且所述锁扣使所述片匣小门处于闭合状态；当放入单个所述片匣时，所述片匣的锁扣锁定所述片盒本体的凸起，且所述锁扣使所述片匣小门处于可打开状态。

2.根据权利要求1所述的组合式硅片片盒装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧。

3.根据权利要求1所述的组合式硅片片盒装置，其特征在于，所述片匣还包括至少一对弹性压片，所述弹性压片用于限定所述片匣内硅片的位置。

4.根据权利要求3所述的组合式硅片片盒装置，其特征在于，所述弹性压片为柔性件。

5.根据权利要求1～4任一项所述的组合式硅片片盒装置，其特征在于，所述片匣的外侧端具有至少一个用于拆装的把手。

6.根据权利要求1～4任一项所述的组合式硅片片盒装置，其特征在于，所述片匣上还具有便于识别的色卡或标签。

7.根据权利要求1所述的组合式硅片片盒装置，其特征在于，所述片盒本体内可容纳2～10个片匣。

8.根据权利要求1所述的组合式硅片片盒装置，其特征在于，所述片盒本体还包括用于开启或关闭所述片盒门的门锁。

9.根据权利要求1所述的组合式硅片片盒装置，其特征在于，所述片盒本体的上端设有便于抓取的抓取盘。