[发明专利]质量分析装置

权利要求书

1.一种质量分析装置，其特征在于：

具有：为了将测定试样离子化而使从外部流入的气体离子化的离子源；以及

分离已离子化的上述测定试样的质量分析部，

上述离子源通过来自上述质量分析部的差动排气来使内部减压，在吸入上述气体而使内压上升至约100Pa～约10000Pa时使上述气体离子化，

上述质量分析部在与上述气体的吸入联动地上升的内压在吸入上述气体后下降到约0.1Pa以下时，将已离子化的上述测定试样分离。

2.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于：

具有：抑制上述离子源取入的上述气体的流量的抑制构件；以及

开闭上述离子源取入的上述气体的气流的开闭机构。

3.根据权利要求2所述的质量分析装置，其特征在于：

上述抑制构件和上述开闭机构相对于上述离子源配置在上述气体的气流的上游侧。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的质量分析装置，其特征在于：

上述离子源具有能将内部减压的电介质隔壁和经上述电介质隔壁而能施加交流电压的第一电极和第二电极，

通过施加上述交流电压而在内部产生的放电来使上述气体离子化。

5.根据权利要求4所述的质量分析装置，其特征在于：

上述第一电极和上述第二电极配置在上述离子源的上述电介质隔壁的外侧。

6.根据权利要求4所述的质量分析装置，其特征在于：

上述第一电极和上述第二电极的任一个配置在隔着上述离子源的能减压的内部的上述电介质隔壁的外侧，

另一个露出在上述离子源的能减压的内部。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的质量分析装置，其特征在于：

上述质量分析部，在其内压下降到约0.1Pa以下而使已离子化的上述测定试样分离之后，

通过上述离子源在取入上述气体而使内压再次上升到约100Pa～10000Pa时使上述气体离子化，从而反复对上述测定试样进行质量分析。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的质量分析装置，其特征在于：

流入上述离子源的上述气体是空气或含有空气的气体。

9.根据权利要求2至8中任一项所述的质量分析装置，其特征在于：

具有第一节流孔或第一毛细管，该第一节流孔或第一毛细管设置在容纳上述质量分析部的真空舱的上述气体的气流的上游侧的入口处，通过来自上述质量分析部的差动排气来对上述离子源的内部进行减压。

10.根据权利要求2至9中任一项所述的质量分析装置，其特征在于：

上述抑制构件是第二节流孔或第二毛细管。

11.根据权利要求2至10中任一项所述的质量分析装置，其特征在于：

上述开闭机构是能使阀的打开时间为约200m秒以下的脉冲阀。