[发明专利]质量分析装置

说明书

本发明是申请号为201110353331.X、发明名称为质量分析装置、申请日为2011年11月7日的发明申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及质量分析装置，特别涉及适于小型轻量化的质量分析装置。

背景技术

在质量分析装置中，将离子化的测定试样用质量分析部进行质量分析。质量分析部收纳在真空舱内，保持为0.1Pa以下的高真空，另一方面，测定试样的离子化通过US7064320公开的在大气压下进行离子化的方式或US4849628公开的在10～100Pa左右的较小气压下进行离子化的方式来进行，因此进行离子化的环境下的压力和进行质量分析的环境下的压力之间存在压力差。因此，为了在使质量分析部的真空度(压力)维持在可进行质量分析的范围内的状态下将离子化的测定试样导入质量分析部中而提出了US7592589公开的差动排气方式。此外，在WO2009/023361中，除了差动排气方式之外，还提出了将已离子化的测定试样间歇地导入质量分析部的方式。此外，为了提高质量分析的测定灵敏度，作为可高效地进行离子化的方式，在WO2009/102766和WO2009/157312中提出了利用电介质阻挡放电现象的离子化方式。

根据WO2009/023361的将已离子化的测定试样间歇地导入质量分析部的方式，能够在停止导入期间恢复因导入而下降的质量分析部的真空度，从而在高真空下实施质量分析。在该方式中，即使用小型的真空泵也能使质量分析部为高真空，因此有利于质量分析装置的小型轻量化。

但是，应该注意的是，WO2009/023361的将已离子化的测定试样间歇地导入质量分析部的方式与仅用差动方式连续导入的情况相比，已离子化的测定试样在输送中的损失大。在质量分析部，为了确保仅高精度的测定所需的已离子化的测定试样，优选使上述输送中的损失减小且高效地进行离子化，因此，可以认为在小型轻量的质量分析装置中也能进行高精度的测定。

发明内容

于是，本发明要解决的课题是提供小型轻量且可进行高精度的质量分析的质量分析装置。

本发明的质量分析装置，其特征在于，具有：离子源，其为了使测定试样离子化而使从外部流入的气体离子化；和质量分析部，其将离子化的上述测定试样分离，上述离子源通过来自上述质量分析部的差动排气来使内部减压，在吸入上述气体而使气压上升至约100Pa～约10000Pa时使上述气体离子化，上述质量分析部在与上述气体的吸入联动地上升的内压在吸入上述气体后下降到约0.1Pa以下时，将已离子化的上述测定试样分离。

根据本发明，能提供小型轻量且可进行高精度的质量分析的质量分析装置。

附图说明

图1A是本发明的第一实施方式的质量分析装置的构成图。

图1B是本发明的第一实施方式的质量分析装置的质量分析部的构成图。

图1C是将本发明的第一实施方式的质量分析装置的滑阀关闭的状态下的构成图的一部分。

图1D是将本发明的第一实施方式的质量分析装置的滑阀关闭且装卸试样容器时的构成图的一部分。

图2(a)是表示脉冲阀开闭的曲线图，图2(b)是表示伴随着脉冲阀的开闭的、电介质容器的内压的压力变化的曲线图，图2(c)是表示伴随着脉冲阀的开闭的、真空舱的内压的压力变化的曲线图。

图3是与本发明的第一实施方式的质量分析装置的质量分析方法(电压扫描方式)的时序(离子积蓄-排气等待时间-离子选择-离子离解-质量扫描)对应的各曲线图，图3(a)是表示脉冲阀开闭的曲线图，图3(b)是表示阻挡放电部的压力的曲线图，图3(c)是表示质量分析部的压力的曲线图，图3(d)是表示阻挡放电电极的交流电压的曲线图，图3(e)是表示节流DC电压的曲线图，图3(f)是表示内盖电极DC电压的曲线图，图3(g)是表示端盖电极DC电压的曲线图，图3(h)是表示陷波RF电压的曲线图，图3(i)是表示辅助交流电压的曲线图，图3(j)是表示离子检测器的通/断的曲线图。