[发明专利]涂布装置

权利要求书

1.一种涂布装置，其特征在于，包括：

基板保持部，保持基板；

涂布单元，保持至少一个喷嘴，所述喷嘴对保持于所述基板保持部的所述基板的主表面喷出涂布液；

移位机构，使所述涂布单元沿着主扫描方向移位，所述主扫描方向与保持于所述基板保持部的所述基板的所述主表面平行；

配管，为至少一个，将从涂布液供给源供给的涂布液输送至所述至少一个喷嘴；以及

压力变动吸收部，为至少一个，吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动；

所述配管具有上游侧的第一管路区间与下游侧的第二管路区间，所述第二管路区间相对地固定配置于所述涂布单元，

所述第二管路区间具有所述第二管路区间中的上游侧的上游侧固定管路区间、与所述第二管路区间中的下游侧的下游侧固定管路区间，

所述下游侧固定管路区间沿着与所述主扫描方向正交的面内而配设，所述压力变动吸收部设于所述下游侧固定管路区间。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述第二管路区间包含分支部，所述分支部使被捆扎的多个所述配管分支，

所述第二管路区间中的比所述分支部更靠上游侧为所述上游侧固定管路区间，所述第二管路区间中的比所述分支部更靠下游侧为所述下游侧固定管路区间，

在所述第一管路区间及所述上游侧固定管路区间，多个所述配管被捆扎。

3.一种涂布装置，其特征在于，包括：

基板保持部，保持基板；

涂布单元，保持至少一个喷嘴，所述喷嘴对保持于所述基板保持部的所述基板的主表面喷出涂布液；

移位机构，使所述涂布单元沿着主扫描方向移位，所述主扫描方向与保持于所述基板保持部的所述基板的所述主表面平行；

配管，为至少一个，将从涂布液供给源供给的涂布液输送至所述至少一个喷嘴；以及

压力变动吸收部，为至少一个，吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动；

所述配管具有上游侧的第一管路区间与下游侧的第二管路区间，所述第二管路区间相对地固定配置于所述涂布单元，

所述第二管路区间配设于与所述主扫描方向正交的面内，所述压力变动吸收部设于所述第二管路区间。

4.根据权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，

还具有配管支撑构件，所述配管支撑构件与利用所述移位机构使所述涂布单元沿着所述主扫描方向的移位同步地，沿着所述主扫描方向移位，

所述配管支撑构件配设于所述第一管路区间的中途，在所述第一管路区间中的比所述配管支撑构件更靠上游侧，多个所述配管被捆扎，在所述第一管路区间中的比所述配管支撑构件更靠下游侧，多个所述配管分支。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的涂布装置，其特征在于，

所述压力变动吸收部具有可挠性的第一配管，所述第一配管的管径大于所述第一管路区间的配管的管径，所述配管的一部分包含所述第一配管。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的涂布装置，其特征在于，

所述压力变动吸收部具有可挠性的第二配管，所述第二配管的管径小于所述第一管路区间的配管的管径，所述配管的一部分包含所述第二配管。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的涂布装置，其特征在于，

所述压力变动吸收部具有T字配管，所述T字配管包括干路与支路，所述干路沿着所述配管中的所述涂布液的流路方向，所述支路是从所述干路向与所述主扫描方向正交的方向分支而成，

所述配管的一部分包含所述T字配管。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的涂布装置，其特征在于，

所述涂布单元具有：可动元件，利用所述移位机构而沿着所述主扫描方向移位；以及喷嘴保持部，与所述可动元件结合而保持所述喷嘴；

所述配管是将n根，且n为2以上的整数的配管利用n－1个配管连接部串联连接而构成，

从所述可动元件观察时，在所述喷嘴保持部侧仅配设有1个配管连接部或不配设配管连接部。

9.根据权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，

所述喷嘴保持部是将所述喷嘴可动地保持的部分，

所述涂布装置还包括喷嘴移动机构，对所述喷嘴保持部中的所述喷嘴的位置进行调节。