[发明专利]一种超声波喷雾微波管式炉及运用

权利要求书

1.一种超声波喷雾微波管式炉，其特征在于包括：空气压缩泵（1）、转子流量器（2）、超声波喷雾器（3）、超声波造雾振动盘（4）、雾滴（5）、石英玻璃导管（6）、石英玻璃管（7）、微波加热装置（8）、微波发生器（9）、石英玻璃片（10）、辅助加热材料（11）、保温材料（12）、粉体缓冲沉降瓶（13）、粉体（14）、粉体收集瓶（15）、第一级碱液吸收尾气装置（16）、第二级碱液吸收尾气装置（17），空气压缩泵（1）通过转子流量器（2）和超声波喷雾器（3）相连通，超声波喷雾器（3）的底部设置有超声波造雾振动盘（4），超声波喷雾器（3）通过石英玻璃导管（6）与石英玻璃管（7）相连通；石英玻璃管（7）的内部设置有石英玻璃片（10），石英玻璃片（10）的后面设置有辅助加热材料（11），石英玻璃管（7）的外部设置有微波加热装置（8），微波加热装置（8）与石英玻璃管（7）之间设有保温材料（12），微波加热装置（8）上设置有微波发生器（9）；石英玻璃管（7）的另一端粉体缓冲沉降瓶（13），粉体缓冲沉降瓶（13）与粉体收集瓶（15）相连通；粉体收集瓶（15）、第一级碱液吸收尾气装置（16）与第二级碱液吸收尾气装置（17）依次相连通。

2.根据权利要求1所述的超声波喷雾微波管式炉，其特征在于：超声波喷雾微波管式炉为横向或者纵向。

3.权利要求1所述超声波喷雾微波管式炉用于同时制备得到ITO粉体与ITO薄膜的方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

（1）将配氯化铟和氯化亚锡溶解于无水乙醇中配制前驱体溶液，前驱体溶液中氯化铟的浓度为0.1-1mol/L、氯化亚锡的浓度为0.1-1mol/L；

（2）将前驱体溶液加入到超声波喷雾器（3）中进行造雾，其中，超声波频率1.3-1.7MHz，雾化量为0.3-0.7L/h；

（3）以空气作为载气，载气流速0.2-0.8L/min，通过载气将雾滴送入微波加热反应区进行雾滴的蒸发干燥热解并在高温石英玻璃片上形成ITO薄膜，在继续由载气将形成的粉体送入尾部收集瓶中形成ITO粉体。

4.根据权利要求3所述同时制备得到ITO粉体与ITO薄膜的方法，其特征在于：所述微波加热反应区的温度为500~750℃。