[发明专利]用于检查测试图形库的覆盖率的方法和光学邻近修正方法有效
| 申请号： | 201510058510.9 | 申请日： | 2015-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN105988301B | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 杨青 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/36 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所11336 | 代理人： | 董巍,高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 检查 测试 图形 覆盖率 方法 光学 邻近 修正 | ||
1.一种用于检查测试图形库的覆盖率的方法，其特征在于，所述方法包括：
创建预定大小的栅格；
对组成所述栅格的一个或多个网格进行预定义；
计算经预定义的所述栅格内的所有测试图形；
在所述所有测试图形中筛选出不违反设计规则的测试图形；以及
将筛选出的测试图形与原有测试图形库进行比对，确定所述原有测试图形库的覆盖率。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述栅格包括N╳N网格阵列，其中N为正整数。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述栅格包括5╳5网格阵列。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述预定义进一步包括：将所述一个或多个网格预定义为0或1，其中0表示所述网格处为空，1表示所述网格处存在图形。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述预定义包括对所述栅格的最中央网格单元进行预定义。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述所有测试图形是基于计算机编程方法而计算得到的。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述计算机编程方法包括MATLAB的蒙特卡洛算法。
8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述比对包括运行图案匹配。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述图案匹配允许模糊匹配。
10.一种用于光学邻近修正的方法，其特征在于，所述方法包括在进行如权利要求1-9中的任一项所述的用于检查测试图形库的覆盖率的方法的步骤后，将所述筛选出的测试图形中未包括在所述原有测试图形库中的测试图形添加到所述原有测试图形库中，以形成新的测试图形库用于光学邻近修正。
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