[发明专利]贯通孔的形成方法、部件、喷墨头、喷墨头单元以及喷墨式记录装置

说明书

技术领域

本发明涉及贯通孔的形成方法、部件、喷墨头、喷墨头单元以及喷墨式记录装置。

背景技术

例如，在喷嘴板(nozzle plate)、连通板那样的喷墨头的构成部件等设置有贯通孔。

以往，这样的贯通孔通过蚀刻形成(例如，参照专利文献1)。

然而，在通过蚀刻形成贯通孔的情况下，存在即使厚度为数百μm左右，也需要数小时以上等、生产率低下这样的问题。

专利文献1：日本特开2011-121218号公报

发明内容

本发明的目的在于提供能够在基板高效地形成所希望的形状的贯通孔的贯通孔的形成方法，提供形成有所希望的形状的贯通孔的部件，另外，提供具备形成有所希望的形状的贯通孔的部件的喷墨头、喷墨头单元、以及喷墨式记录装置。

这样的目的通过下述的本发明实现。

本发明的贯通孔的形成方法的特征在于，对基板实施蚀刻加工与激光加工，从而形成贯通孔。

由此，能够提供能够在基板高效地形成所希望的形状的贯通孔的贯通孔的形成方法。

在本发明的贯通孔的形成方法中，优选上述基板由具有蚀刻各向异性的结晶材料构成。

由此，在蚀刻加工中，能够各向异性地对基板进行蚀刻，从而能够更加容易并且可靠地形成具有所希望的形状的贯通孔。

在本发明的贯通孔的形成方法中，优选上述基板的厚度为100μm以上1000μm以下。

以往，相对于这样的厚度的基板，高效地形成所希望的形状的贯通孔特别地困难，但在本发明中，即便对这样的厚度的基板，也能够高效地形成所希望的形状的贯通孔。即，若基板的厚度是上述范围内的值，则本发明的效果被更加显著地发挥。

在本发明的贯通孔的形成方法中，优选上述贯通孔的宽度为10μm以上50μm以下。

以往，这样在欲形成宽度比较小的贯通孔的情况下，以具有所希望的形状的方式高效地形成贯通孔特别地困难，但在本发明中，即使是这样的宽度的贯通孔，也能够高效地形成具有所希望的形状的贯通孔。即，若贯通孔的宽度是上述范围内的值，则本发明的效果被更加显著地发挥。

在本发明的贯通孔的形成方法中，优选上述基板的厚度D相对于上述贯通孔的宽度W的比例(D/W)亦即纵横比为7以上20以下。

以往，这样在欲形成纵横比比较大的贯通孔的情况下，以具有所希望的形状的方式高效地形成贯通孔特别地困难，但在本发明中，即使是这样的纵横比的贯通孔，也能够高效地形成具有所希望的形状的贯通孔。即，若贯通孔的纵横比是上述范围内的值，则本发明的效果被更加显著地发挥。

本发明的部件的特征在于，具有使用本发明的方法形成的贯通孔。

由此，能够提供形成有所希望的形状的贯通孔的部件。

优选，本发明的部件是喷墨头部件。

喷墨头具有微细的构造，且具有喷嘴那样的较细的墨水流路。在这样的喷墨头中，构成部件所具有的贯通孔的形状、大小的微小的不同对液滴的排出特性带来较大的影响。在本发明中，能够进行微细的形状等的控制，从而能够容易并且可靠地形成所希望的形状、大小的贯通孔。因此，在将本发明应用于构成喷墨头的部件(喷墨头部件)的情况下，本发明的效果被更加显著地发挥。

本发明的喷墨头的特征在于，使用本发明的部件制造而成。

由此，能够提供具备形成有所希望的形状的贯通孔的部件的喷墨头。

本发明的喷墨头单元的特征在于，具备本发明的喷墨头。

由此，能够提供具备形成有所希望的形状的贯通孔的部件的喷墨头单元。

本发明的喷墨式记录装置的特征在于，具备本发明的喷墨头单元。

由此，能够提供具备形成有所希望的形状的贯通孔的部件的喷墨式记录装置。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的贯通孔的形成方法的优选的实施方式的剖视图。

图2是示意性地表示本发明的喷墨头的优选的实施方式的剖视图。

图3是示意性地表示本发明的喷墨头的其它优选的实施方式的剖视图。

图4是图3所示的喷墨头的外壳的仰视图。

图5是表示本发明的喷墨式记录装置的优选的实施方式的示意图。

附图标记说明