[发明专利]一种基板检测装置及方法

权利要求书

1.一种基板检测装置，其特征在于，包括线光源发光装置和反射光接收装置，其中：

所述线光源发光装置以设定的入射角向基板发射入射光，所述入射光随线光源发光装置与基板的相对运动而扫描基板表面；

所述反射光接收装置接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光；用于当所述反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，发出基板存在缺陷报警信号。

2.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述反射光接收装置，具体用于当所述反射光的实际接收区段存在断点时，发出基板存在缺陷报警信号。

3.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述反射光接收装置，具体用于当所述反射光的实际接收区段的长度小于标准接收区段的长度时，发出基板存在缺陷报警信号。

4.如权利要求1～3任一项所述的基板检测装置，其特征在于，还包括：导轨，所述线光源发光装置和所述反射光接收装置滑动装配于所述导轨；以及驱动所述线光源发光装置和所述反射光接收装置同步移动的第一驱动装置。

5.如权利要求4所述的基板检测装置，其特征在于，所述线光源发光装置通过第一连接杆与导轨上所设置的第一滑块连接，所述反射光接收装置通过第二连接杆与导轨上所设置的第二滑块连接。

6.如权利要求5所述的基板检测装置，其特征在于，所述线光源发光装置与所述第一连接杆枢接，所述反射光接收装置与所述第二连接杆枢接；所述基板检测装置还包括：驱动所述线光源发光装置和所述反射光接收装置同步旋转的第二驱动装置。

7.如权利要求6所述的基板检测装置，其特征在于，所述线光源发光装置和所述反射光接收装置水平设置，或者，所述线光源发光装置和所述反射光接收装置与水平面具有夹角。

8.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述线光源发光装置包括红外线光源发光装置。

9.一种基板检测方法，其特征在于，包括：

以设定的入射角向基板发射线光入射光，并使所述入射光扫描基板表面；

接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光，当所述反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，确定基板存在缺陷。

10.如权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述入射光扫描基板表面通过如下方式实现：

基板停驻不动，使所述入射光相对基板移动或者旋转；或者

所述入射光的位置不变，使基板相对入射光移动。